第二章 第二章 規格與廠務需求電漿設備規格控制部+電源部 主控台：控制部 電源部項 目 尺寸(LxWxH) 重量 電壓 頻率 電流 接地電阻 電源線入口尺寸 氣體流量 氣體入口壓力 氣體入口尺寸 項 目 尺寸(ΦxH) 重量 電漿有效直徑 單位 mm Kg V Hz A 英吋 L/min Kgf/cm2 mm 單位 mm Kg mm 規 格 820x520x605 91 AC220 單相+接地線 50~60 15A <5 1 26 4~5 8 格 備註 (附錄一)照射部規格規 Φ40.1x262.8 1.1 3-10(建議 6±1mm) 備註 (附錄二)廠務需求項目 1 2 3 4 5 需求 供應交流電源 排風管連接頭 抽氣量 維修空間 氮氣產生機 外徑 50mm 1000 L/min 60cm 以上 入口空氣壓力須 大於 5.5kg/cm2 管徑 12x8mm 壓力必須大於 5kg/cm2 管徑 6x8mm 壓力必須大於 5kg/cm2 管徑 6x8mm 廠務若有供應氮氣 則 不須此項 製程氣體需求 選配一 製程氣體需求 選配二 規格 備註 連接廠務抽氣系統 AC220V(單相)，15A+接地線 內部電線長度 2M6 7廠務 N2 廠務 CDACreating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 6 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24