注意事項: 注意事項:PLC 控制部份： 1、 2、 3、 4、 5、 Remote 25Pin I/O 外部的 Pin1（V+）和 Pin14（V-）須輸入 2.6V 電壓給 Plasma，以控 制 Remote 狀態時 26L 的流量。 Remote 25Pin I/O 外部的 Pin2（V+）和 Pin15（V-）須輸入 10V 電壓給 Plasma，以控 制 Remote 狀態時 100％的功率。 以上兩個參數，不建議開放給 End User 操作，參數調整需經由原廠同意才可修改設 定。 當 Remote On 時 Pin3 的高準位訊號需持續發送，不可中斷，直到 Remote Off 發生 時才可中斷 Pin3 訊號。 當 Error 產生時，Remote On （Pin3）需切斷，避免 Error 狀況排除時突然啟動發生 危險，Error 發生原因如下： 當機台發生 ERROR 時設備端可以顯示機台錯誤的訊息種類。 Pin6：氮氣濃度不足 / N2 GENERATER ERROR Pin7：氣體壓力過低 / PRESSURE ERROR Pin8：電漿輸出異常 / PLASMA ERROR Pin9：流量輸出異常 / MFC ERROR Pin3（啟動電漿 / Remote ON）啟動時： 需先偵測 Pin5（Remote Ready）的電壓，判斷是否為[Remote Control Mode]。 若偵測到低準位 0V 時，表示現在為[Remote Control Mode]； 若偵測到高準位+24V，則表示現在為[Local Control Mode]。 需偵測 Pin10（電漿啟動狀態的輸出訊號 / REMOTE ON STATUS OUT）電壓 若偵測到低準位 0V 時，表示正常 若偵測到高準位+24V，則表示異常，此時 Pin3（啟動電漿 / Remote ON）需切斷 （REMOTE OFF） ，避免 Error 狀況排除時突然啟動發生危險，等以上狀況排除時， 始可重新操作機台。 若 Error 狀況已排除（此時 Error 燈還亮） ，需先 Reset 電漿，再 Remote On 才能再次 啟動電漿。6、7、Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 17 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24