第六章 耗材更換白金電極、石英管、噴嘴更換步驟----白金電極、石英管、噴嘴更換步驟----25第七章 故障排除故障原因及排除方法-----------------故障原因及排除方法-----------------28附錄 :附錄一、主控台規格圖---------------附錄一、主控台規格圖---------------規格 -----附錄二 照射部規格圖---------------附錄二、照射部規格圖---------------規格圖--------29 30Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 4 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24