【REMOTE 控制：電漿開啟狀態訊號輸出】*註 4Pin10： On Status 的輸出訊號。 SAP003 Pin16 USER 0VPin10On StatusExample： Pin=0Vdc，On Status。 Pin=+24Vdc，Off Status。Fig3.8*註 4：Remote On 後，請務必讀取此 Pin 的狀態，作為 Remote On 的 Check。 ___________【REMOTE 控制：流量目前的回饋值】Pin11：(V+相對於 Pin24)讀取目前流量的輸出值。 Pin24：(V-相對於 Pin11) 讀取目前流量的輸出值。 說明：讀取目前流量計的輸出讀值。 範例：流量輸出設定值為 20.0SLM，電壓讀取值為 2.00Vdc。【REMOTE 控制：功率目前的回饋值】Pin12：(V+相對於 Pin25) 讀取目前功率的輸出值。 Pin25：(V-相對於 Pin12) 讀取目前功率的輸出值。 說明：讀取目前電漿功率的輸出讀值。 範例：輸出的功率設定值為 290W 功率輸出，則電壓讀取值為 1.45Vdc。【REMOTE 控制：外殼接地】Pin13：接地。 說明：接地。Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 16 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24