目錄 第一章 概要公司簡介-------------------------公司簡介-------------------------電漿介紹-------------------------電漿介紹-------------------------5 5第二章 規格與廠務需求電漿設備規格---------------------電漿設備規格---------------------廠務需求-------------------------廠務需求-------------------------6 6主控台各部位說明 第三章 主控台各部位說明主控台---------------------------主控台-------------------------------------照射部---------------------------照射部---------------------------7 8第四章 安裝及接線安裝說明-------------------------安裝說明------------------------------------接線步驟-------------------------接線步驟----------------------------------------定義------------------------I/O 25Pin 定義-------------------9 10 11第五章 操作說明開機步驟--------------------------開機步驟------------------------------Local 操作說明---------------------------Local 操作說明--------------------操作說明-------------------Remote 操作說明-------------------耗材時間歸零設定------------------耗材時間歸零設定------------------歸零設定--------------18 19 22 24Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 3 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24