SAP003-14M(14A-13C)电浆设备_操作手册V_1.0(15)

发布时间:2021-06-10

【REMOTE 控制:氮氣濃度不足訊號輸出】Pin6:N2 Error 的輸出訊號。 SAP003 Pin16 USER 0VPin6N2 ErrorFig3.4 Example: Pin=0Vdc,N2 Error。 Pin=+24Vdc,OK。【REMOTE 控制:氣體壓力異常訊號輸出】Pin7: Pressure Error 的輸出訊號。SAP003 Pin16USER 0VPin7Pressure ErrorFig3.5 Example: Pin=0Vdc,Pressure Error Pin=+24Vdc,Pressur OK。 ___________Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 14 頁,共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24

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