I/O 25Pin 連接線說明【REMOTE 控制：流量設定的輸入值】Pin1：(V+相對於 Pin14)控制氣體流量輸出的設定值。 Pin14：(V-相對於 Pin1) 控制氣體流量輸出的設定值。 說明：設定的流量 0.0~50.0SLM 對應控制電壓 0.00~5.00V。 範例：控制電壓輸入 2.00Vdc，則輸出的流量設定值為 20.0SLM。【REMOTE 控制：功率設定的輸入值】Pin2：(V+相對於 Pin15)控制功率輸出的設定值。 Pin15：(V-相對於 Pin2) 控制功率輸出的設定值。 說明：設定的功率 0%~100%對應控制電壓 0.00~10.00V。 範例：控制電壓輸入 10.00Vdc，則輸出的功率設定值為 100%功率輸出。【REMOTE 控制：電漿啟動/關閉訊號輸入】Pin3：啟動/關閉電漿輸出的輸入訊號。 SAP003 Pin17 USER +24VPin3 Fig3.1Plasma On/OffExample： Pin=0Vdc，Plasma On。 Pin=+24Vdc，Plasma Off。 ___________Creating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 12 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24