I/O 25Pin 定義Connector： 定義如下，接線請參考詳細接線圖。 25pin D Sub Female Connector：I/O 定義如下，接線請參考詳細接線圖。12 14 153 1645 17 186 1978 209 2110 2211 2312 2413 25腳位 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25功能 FLOW INPUT SIG 0~5V POWER INPUT SIG 0~10V REMOTE ON/FF REMOTE ERROR RESET Remote Ready N2 GENERATER ERROR SIG OUT PRESSURE ERROR SIG OUT PLASMA SIG OUT MFC SIG OUT PLASMA ON STATUS OUT FLOW OUTPUT SIG 1~5V POWER OUTPUT SIG 0~5V CHASSIS GROUND FLOW CONTROL SIG COM POWER CONTROL SIG COM DC POWER IN COM DC POWER IN 24+ Not Used Not Used Not Used Not Used Not Used Not Used FLOW OUTPUT SIG COM POWER OUTPUT SIG COM說明 設定流量的輸出值(V+) 設定功率的輸出值(V+) 啟動/關閉電漿 重置電漿 外部控制模式 氮氣異常輸出 壓力異常輸出 電漿異常輸出 流量異常輸出 電漿 ON/OFF 狀態 目前流量的讀值(V+) 目前功率的讀值(V+) 接地 設定流量的輸出值(V-) 設定功率的輸出值(V-) 電源分類 Input analogy signal Input analogy signal Input Digital Singal Input Digital SingalOutput digital signal (訊號輸出)Output analogy signal Output analogy signal Ground Input analogy com Input analogy com 外部控制電源輸入目前流量的讀值(V-) 目前功率的讀值(V-)Output analogy com Output analogy comCreating Nano Technologies 59 Alley 21 Lane 279 Chung Cheng Road Yung Kang City Tainan TAIWAN 710 第 11 頁，共 30 頁 TEL: +886-6-2323927 FAX:+886-6-3013155 版本 1.0 URL: E-Mail: cnt.nano@ 更新日期: 2011-11-24