第5章 真空泵电机的结构设计与研究 ................................... 41

5.1微电机的分类与结构形式 .............................................. 41

5.1.1微电机的分类.......................................................... 41

5.1.2几种常用微电机的结构形式...................................... 42

5.2微电机的结构特点与结构设计........................................ 45

5.2.1微电机的结构特点 ................................................... 45

5.2.2微电机的结构研究 ................................................... 47

第6章 电动真空泵的自动控制系统....................................... 49

6.1电动真空泵的自动控制方式 ........................................... 49

6.2控制系统的硬件部分 ..................................................... 52

6.2.1控制系统的硬件选择................................................ 52

6.2.2系统硬件设计与实现................................................ 53

第7章 结论 ........................................................................ 57

参考文献 ............................................................................. 58

致 谢 ............................................................................. 60