微洁净环境中的颗粒监测(4)

E一 m: a ils aan i ino @ foi l nn. esh . cn集 盛患 路峪水平。生 产 技 术曝 这 些 颗 粒活 动主 要由设 备 长 期 运 行 后 产 生 的 一的设 计 来 减 少 上 述 问,试 验 莽2 在 一 个 运 行 中的洁 净环 境,些 问 题所 引 起 ;20m m工 厂 使 用 P毗、L PS 一嘟 改 进 这些 设 备 及 其 微 环 境C3 0 l ( PMS 公 司 生 产 ) 来 监 测 电学 测 试 探 针 台 的 微题 固然 需 要3 2 . 2.,但 为 了保 护 在 上 述 设 备 中 的 硅 片 持。颗粒 传感 器 采用 单 点 采样 以 O IC FM 流。续 的 颗 粒监 测 是 十分 必 要 的硅 片探 针 台#3. 3 微 米 的颗 粒 进 行 计 数 量 对大 于 等 于 0结果# 2,风 扇 失效。试验 在 图 3 中可 以 看10 的 /图 3 显 示 了 风 扇失 效 的影 响,在 第 三种 试 验 中 在 一 个 运 行 中 的 3 0,腼m工厂到 当 风 扇处 于非 正 常 工 作 时 观 察 到 颗 粒 数 通 常一 处 于 10 1 0 /n 使用 一 个 M iN it e31 0过 程 监 测 器 同 时 监测 预 真,尸 之间 有 时 会 超 过,、s t f。一旦空 室 和 测 试 室 内 的 颗粒 数 并 在 预 真 空 室 同 时安 置了 差 分 压力 传 感 器、风 扇 恢 复 至 正 常 工 作 状 态 颗 粒计 数 马 上 有 了 实 质性 的下 降注:。器:,。颗 粒 传 感 器在‘7温 度 传 感器 和 相 对 湿 度 传 感 0 3 个 不 同的位 置 对大 于 等 于 .微米 的 颗 粒 以1 0 C FM 的 流 量进行 持 续采 样 和 计(1 )预 防 性 维 护 压 力 下 降 颗 粒 计 数上 升 ; (2 )风 扇 单 元 失 效 压 力 下 降 颗 粒 计数 上 升 ;,数。:结果如图 4 所示, ,(3 ) 进行 零 计 数 测 试 压力 恒 定 颗 粒 计 数 降至:,在2 4 小 时 内观 察 到 了 大 量 的 颗。,零;s e 粒活 动 颗 粒 计数 于 I0 0 0 4 5 00/ f s 之 间 这些 颗粒 t( ) 风 扇 修 复 压 强 上 升至 正 常 水 平 颗 粒 计 数 4,:活 动 在 计 数图 形 上 非 常 相 似 都 有 一 个 又 陡 又 高 的下 降至 正 常水 平。尖 峰 其 后 都 伴 随 着一 个 相 对 快速 的 回 落 然 后 由,,结论风扇循 环 系 统 恢 复 至 洁净 状 态:。上 述 尖锐 的颗 粒 计,过 程 工程 学 认 为D 1数 峰 的 出 现 与 正 压 力 峰 相 对 应 (见 图 5 ) 表 明 它 们和 F()U P 的 对 位 以 及 硅 片 动 作 过程 相关。蔡 两 个 设 备 中都 存在 颗 粒 活动 ;哪日 目一 斗,-一名 召 O 店 尾 崔节 !一叠,。. 曰. _{ !{1朴 日”口 F. 「箭必对/ {入 J 丽 泰 比 i } }1 牙l; 一扫 州 「 目 l 几 l奋 l闷曰ead n 口I R . p}二。 . 闷止昌薯昙昌毒薯蓦髻图 2 硅 片探 针 台 # l