微洁净环境中的颗粒监测(3)

到 有更 高 压 力 的测 试 室 通过 输 人 引 脚 向 芯 片 施 加特 定 的 电压 和 电流 然 后 根颗粒 计 数降 到 正 常 的水 平3 1 3 讨论.。据 从 输 出 引 脚 测 得 的 相应 电 流 电 压值 来 辨 别 芯 片是 否 失效 是 调 查 性 的 仪 器 目前 还 没,,.:风扇 失 效3。颗 粒活 动 和 失 效 芯 片 间 的 密 切关 联 意 味。由于M in i Ne t0 1着 保 持 这 一 设 备 的 洁净 是 非 常 重 要 的. 2 1 硅片 探 针 台 # 3 1 & #2有被 整 合 到 各部 门 的 标 准 操 作 程 序 中 因 此 在 颗粒数增 高之 前 有 时 候 就会 被 忽 视工 程 学 的 外 部 目检 时,,。在 首 先进 行 的 过 程,,试验#卜离 子 注人机 似 乎 工作 正 常31 0接 着 对 监 测 器 进 行 了 一 次 零 计数 测 试 观 察 到 颗r 在一 个 运 行 中 的 Zo m m 工 厂 使 用 A i n e t 30 1 PM S 公 司生 产 ) ( 来 监测 硅 片 电 学 测 试探 针 台 E粒计 数 很 快 降 为零 常。,t 这表 明 了 M i 币N e工 作正,T e 歇 P ro b e :预 真 空 室 的颗 粒 情况 颗 粒 传 感 器 采 用.,单点 采 样 以 O于 是 工 艺 工 程 师 停 止 了 硅 片 的 加 工 当 他们,,I C FM。3 微米的 的 流 量对 大 于 等 于 0 .颗 粒 进 行 计数l 结果 #:返 回到离 子 注人 机 时 没有 发 出警 告 到 了 正 常 水平3 1 . 4 结论.发现 风 扇 单 元 没 有 在 工 作, , ,,轴 承失效, ,所 有 的 四个 风 扇 都 已 失 效 无 气 流 吹 出 但 设 备却。在 图2中 能 观 察 到 在 最 初 三 天 中 腔体 内 的/一 旦 风扇 单 元 修 好 颗 粒 计 数 就 回0 颗 粒 密 度 维持 着 少 于 1,护 然而 在 8 月 2,白 一,。个 轴承 发 生 失效 在 下 一 个 三 天 中 颗 粒数 几 次 超 过0 00 1 /s t f。一 旦 轴承 被 更换 颗 粒 计 数又 降 到 了 正 常,一 ‘ ‘ , 对 口 孙 , 口 公 忆 不 七 乃 ‘ 盆 八 u 匕.O 力7 0协 U 。 , 一 V 七 艺 三 炙0 0 马e以自刃斗00 0O 白习 仁: 0 20 1 尸 口 书 竹 它 冷 纷 甲 已 护 内 尸 苗 以 浇 母石 冷 澎一 , 于 卜 石 N 价 公 冉 、 钾 仍 钾 甘 沂 护 姆 叶 6 石二 功 州 O 内 翻 L 的 的 朽 护 朽 入 r 丙 拼 护 仍 切 口二 二 钾 口 的 州 呐 卜 匆 公 段 甲 钾 匕 O 份 6 甘 必 入 闪 甘 甲 们 刊 属 伪 , 叻 公 沪 公 朴 的 M O 甘 尸 俨 妙 公 卜 钾 L 的 朽 O 尸 公 刊 丙 入 户 护 切 仍 甘 Z二 喻 份 N 肠一 寸 杯 6 偷 O 户 护 人 协 卜一 娜 0 召 L ,门 州 吕 鸽D. y ZD ay 310娜a 丫弓 OO句 6图 1 离 子 注 人 机 中的 风 扇 失 效迈)0 23年9 月欢 迎 投稿