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常超精密传动机构应有特殊设计，例如丝杆螺母与气浮平台的联结器应保证轴向和滚转 刚度高，而水平、垂直、俯仰和偏转四自由度为无约束的机构，电动机预丝杆的联结器 也应采用纯扭矩无反转间隙的联轴器。

气浮丝杆和磁浮丝杆可进一步减小滚珠丝杆的跳动误差和因摩擦和反向间隙引入 控制系统的非线性环节。俄罗斯研制的气浮/磁浮丝杆[7][8]  其电磁丝杆的传动主要指标如 下：丝杆直径 62mm，螺距和螺纹齿高 4mm，丝扣宽度 1mm，间隙d =0.1mm，承载能 力和静刚度分别为 700N 和 75MN/m 和气浮平台联合使用时驱动装置的分辨率为 0.01 m m 。Fanuc公司的超精密车、铣床 R0B0nano Ui就采用了面节流式空气静压丝杆螺 母副。

超精密加工的意义重大，我国超精密加工技术的发展要赶超世界先进水平，就应优 先考虑适度、稳定高精度的战略。最求高精度从理论上是无穷尽的，但根据我国国情， 选择适当的投入/精度比，追求适度、稳定高精度，依靠自己的力量开发廉价化的超精加 工技术。 

1.3 毕业设计任务与论文组成 

1.3.1 毕业设计任务 

1．设计一台精密数控平面磨床，用砂轮周边磨削平面，也可以磨削台阶平面。能用于 机械制造业及工具模具制造行业，能加工各种难加工材料； 

2．确定磨床的总体方案 

3．工作台纵向进给机构的设计，伺服电机和滚珠丝杆副设计计算，绘制纵向进给机构 的机械结构装配图；绘制相关零件图； 

4．工作台横向进给机构设计，绘制横向进给机构机械结构装配图； 

5．磨床床身立柱的设计（选做）； 

6．磨床微机数控系统的硬件电路设计； 

7．翻译指定的英文专业文献； 

8．撰写毕业设计论文（说明书）。 

1.3.2 论文组成

论文由以下几章组成