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于 0.025 m m （在每个溜板上装有标准平尺，通过测量和修正来达到）。位移误差不超过 0.013 m m （用氦屏蔽光路的激光干涉仪来测量和反馈控制达到）。主轴溜板运动偏摆小 于 0.001’’ (通过两路激光干涉仪测量,压电陶瓷修正来实现).激光测量系统有单独的花岗 岩支架系统,不与机床联结,油喷淋冷却系统可将油温控制在20 o C ±0.0025 o C .采用摩擦 驱动,推力可达1360N，运动分辨率达0.005 m m 。

在商品化实用超精密机床方面，世界上最负盛名的是英国的 Tayler/Hobson­Pneumo 公司。该公司生产 Optoform,Microform和 Nanoform三个系列的超精密机床。典型产品 Nanoform250车床采用空气静压主轴，其径向、轴向刚度分别为88MN/m和 62MN/m， 径向和轴向精度£0.05 m m ，采用液体静压捣鬼，水平和垂直线度分别为 0.2 /250mm和 0.5 /250mm，定位精度为0.3 /250mm，数控系统采用Nanopath，分辨率为0.001 m m 。测 量系统采用光栅迟或激光干涉仪，分辨率分别为 8.6nm 和 1.25nm。加工型面精度达 0.2 m m ，表面粗糙度 R m 。 a 优于0.01 m

美国洛切斯特大学光学中心（COM）[3]  开发了 POTICAM系列的超精密光学加工机 床；OPTICAM 超精机床系列设备包括：OPTICAM/SM 平面抛光机床，OPTICAM/AM 非球面加工机床和OPTICAM/PM棱镜加工机床。2000 年开始进行 “保形光学制造技术” 的研究，开发了Nanotech 150AG非球加工机床；Q22磁流变加工机床等。

英国的 Granfield 大学的精密工程研究所研究的 OAGM2500 六轴 CNC 超精密磨 床[4]  、Nanocenter250、600 非球面光学零件车窗和大型超精密金刚石镜面磨床，是超精 密机床研究的先锋。 

1．超精密磨削及磨粒加工工艺技术

当前精密磨削是指被加工零件的加工精度达 1~0.1 m m ，表面粗糙度 R a 为 0.2~0.01 m m 的加工技术。 超精密磨削的加工精度小于0.1 m m ， 表面粗糙度 R . 025 m m ， a £ 0

磨床定位精度的分辨率和重复精度小于 0.01 m m 。现在超精密磨削正从微米、亚微米

) 加工发展。用磨具进行磨削和用磨粒进行 （1~0.1 m m ）的加工向纳米级( 10 - 2 ~ 10 - 3 m m

研磨和抛光是实现精密及超精密加工的主要途径。用于超精密镜面磨削的树脂结合剂金