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应加工这类工程陶瓷的超精密平面磨床。陶瓷材料的特点是硬而脆，其硬度是碳钢的1O 至 20 倍，而断裂韧性仅为碳钢的几十分之一。陶瓷材科的性能对粗糙度、破损度、平 面度等平面参数十分敏感。陶瓷材料的磨削机理与金属材料不同，主要有三个特点：砂 轮损耗大，磨削比低3磨削力大，磨削效率低 3由于磨削条件不同，会使加工零件的强 度发生变化。

根据以上这些特点，各国都致力开发了适合进行纳米磨削的超精密平面磨床，并且 进行了脆性材料的可延性磨削技术的研究。

随着社会的不断发展，高效是各个生产商不断追求的目标，数控技术得到推崇。 当今，磨削加工技术的发展趋势是向着采用超硬磨料磨具，发展高速、高效、高精 度磨削新工艺，装备CNC数控磨床的方向发展。 

1.1.2 课题研究目的

本次设计目的是设计一台精密数控平面磨床，精度等级为 1 m m ，用砂轮周边磨削 平面，也可以磨削台阶平面。能用于机械制造业及工具模具制造业，能加工各种难加工 材料(如陶瓷材料)。 

1.2 国内外发展状况

超精密加工技术是以高精度为目标的技术，它具有单项技术的极限、常规技术的突 破、新技术综合三个方面永无止境的追求的特点。

实现超精密加工的主要条件应包括以下诸方面的高新技术：超精密加工机床与装、 夹具；超精密刀具和磨料，刀具刃磨技术；超精密加工工艺；超精密加工环境控制（包 括恒温、隔振、洁净控制等）；超精密加工的测控技术等。毫无疑问，超精密加工机床 技术是最关键的技术，它直接代表了国家制造业的水平 [1] 。

大学和研究所保持着对超精密机床研究的持续热情，对高技术进行超前研究，并使 得研究型超精密试验机床尽可能采用高技术作产业的先导，对超精密机床产业化和商品 化起着推动作用。

美国 LLNL 实验室开发了一系列超精密试验研究型机床，1984 年研制成功的大型 光学金刚石车床LODTM是至今为止精度最高的大型超精密机床[2]  。该机床可加工直径 为2.1m质量4.5t 的工件。 采用高压液体静压导轨在1.07m×1.12m范围内直线度误差小