干涉扫描原理

干涉光栅尺的栅距一般为8 µm、4 µm甚干涉扫描原理是利用精细光栅的衍射和干至更小。 其扫描信号基本没有高次谐波，涉形成位移的测量信号。

能进行高倍频细分。因此，这些光栅尺适用于高分辨率和高精度应用。 尽管如此，阶梯状光栅用作测量基准： 高度0.2 µm的其相对宽松的安装公差使它可用于许多应反光线刻在平反光面中。 光栅尺前方是扫用。

描掩膜，其栅距与光栅尺栅距相同，是透射相位光栅。

LIP和LIF系列直线光栅尺和PP系列二维编码器用干涉扫描原理。

光束穿过扫描掩膜时，被衍射为光强近似的-1、0和+1三束光。 被光栅尺衍射的光波中，反射光的最强衍射光光束为+1和-1。 这两束光在扫描掩膜的相位光栅处再次相遇，又一次被衍射和干涉。 它也形成三束光，并以不同的角度离开扫描掩膜。 光电池将这些交变的光强信号转化成电信号。

扫描掩膜与光栅尺的相对运动使第一级的衍射光产生相位移： 当光栅移过一个栅距时，前一级的+1衍射光在正方向上移过一个光波波长，-1衍射光在负方向上移过一个光波波长。由于这两个光波在离开扫描光栅时将发生干涉，光波将彼此相对移动两个光波波长。也就是说，相对移动一个栅距可以得到两个信号周期。

单场干涉扫描原理的光电扫描

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