09-第九章-其它特种加工(化学加工)-特种加工课件-gbi
发布时间：2024-11-12
特种加工 第五版 课件
Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
§9.1 化学加工
特种加工 第五版 课件
§9.1 化学加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
化学加工(Chemical Machining: CHM) 利用酸、碱、盐等化学溶液对金属产生化学反应，使金属腐蚀溶解，改变工件尺寸和形状(以及表 面性能)的一种加工方法。 分类 §9.1.1化学铣切、
§9.1.2光化学腐蚀、
§9.1.3化学抛光、
§9.1.4化学镀膜
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§9.1.1 化学铣切加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
化学铣切加工原理 实质是较大面积和较深尺寸的化学蚀刻。 工作原理是首先将工件非加工表面用耐腐蚀性涂 层保护起来，将需要加工的表面裸露，然后将工 件浸入化学溶液中进行腐蚀，使金属按特定的部 位溶解去除，达到加工目的。
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§9.1.1 化学铣切加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
化学铣切加工工作原理示意图
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§9.1.1 化学铣切加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
金属溶解不仅在垂直 于工件表面的深度方 向，在保护层下面的 侧向也进行溶解。根
据腐蚀系数(实验确定)、腐蚀深度以及 腐蚀尺寸决定样板的
刻形尺寸。
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§9.1.1 化学铣切加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
化学铣切的特点 可加工任何难切削的金属材料，而不受到任何硬度和强度的限制； 适于大面积加工，可同时加工多件；
加工过程不会产生应力、裂纹、毛刺等缺陷，表面粗糙度可达Ra2.5~1.25微米； 加工操作简单。
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§9.1.1 化学铣切加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
化学铣切的缺点 不适宜加工窄而深的槽和型孔等； 原材料中的缺陷和表面不平度、划痕等不易消除； 腐蚀液对设备和人体有害，需要适当的保护措施。
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§9.1.1 化学铣切加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
化学铣切工艺过程表 面 预 处 理涂 保 护 层 化 学 腐 蚀 去 保 护 层
固 化
刻 形
清 洗
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§9.1.1 化学铣切加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
化学铣切工艺过程 1 涂覆 涂保护层前，必须把工件表面的油污、氧化膜等清除干
净(甚至喷沙处理),确保涂层和金属表面粘结牢固。 涂层必须具有良好的耐酸、碱性能，并在化学蚀刻过程
中粘结力不下降。涂层必须均匀，无杂质和气泡，厚度 控制在0.2mm左右。 涂后需经过一定时间在适当温度下加以固化。
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§9.1.1 化学铣切加工 化学铣切工艺过程 2 刻形 根据样板的形状和尺寸将待加工表面的涂层去Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
掉，以便进行腐蚀加工。
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§9.1.1 化学铣切加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
化学铣切加工过程
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§9.1.2 光化学腐蚀加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
光化学腐蚀加工( Optical Chemical Machini
ng: OCM) 光学照相制版和化学腐蚀相结合的一种精密微细 加工技术。 与化学铣削的主要区别是不靠样板人工划刻，而 是用照相感光来确定工件表面要蚀除的图形和线
条。
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§9.1.2 光化学腐蚀加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
光化学腐蚀加工 照相制版 光刻加工
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§9.1.2 光化学腐蚀加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
照相制版的原理 把所需要的图像，摄影到照相底片上，并经过光化学反应，将图像复制到涂有感光胶的铜板或锌 板上，再经过坚膜固化处理，使感光胶具有一定 的抗腐蚀能力，最后经过化学腐蚀获得所需图形 的金属版。
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§9.1.2 光化学腐蚀加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
照相制版的工艺过程原 图照 相 涂 感 光 胶 曝 光 显 影 坚 膜 烘 烤 修 正 腐 蚀 去 胶
金 属 版
印 刷 版
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§9.1.2 光化学腐蚀加工Precision Engineering Lab., Xiamen Univ.
照相制版的工艺过程1
原图和照相 原图是将所需图形按一定比例放大描绘在纸上
或刻在玻璃上，然后通过照相，将原图按需要 大小缩小在照片底片上。
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