膜系设计

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第 2卷第 5期 7 20年 9 06月文章编号：0 22 8 ( 0 6) 5 0 1— 4 1 0—0 2 2 0 0—4 50

应用光学J u n lo pid Opis o r a fAp l tc e

V o .2 1 7。N O. 5Se, 006 p.2

短波通滤光片膜系设计赵兴梅，师建涛，郭鸿香(安应用光学研究所，安 706)西西 1 0 5

摘

要：详细介绍用等效折射率概念设计短波通滤光片的原理和计算方法。 根据原理和方法，选

择二氧化钛 ( i 作为高折射率材料、 TO )二氧化硅 ( i作为低折射率材料。首先从理论上计算出 SO )用这 2种材料设计的波长一9 0 5 m的短波通滤光片所需要的周期数， 5~11 0n然后给出短波通滤光片的主膜系和光谱曲线。由于据此周期数设计出的膜系光谱曲线在7 0 1 m处的透过率不 5￣8 0n 符合要求，因此对该膜系进行了改进。照改进的设计进行多次制备，终制备出了符合要求的短依最

波通滤光片，到了最佳制备工艺和方法。找最后，制备出来的短波通滤光片薄膜进行了各种环境对实验。实验结果表明，层的各项指标符合设计要求。膜 关键词：短波通滤光片；系设计；效折射率； 膜等周期数数中图分类号： N3 5 8 T 0 .文献标志码： A

Fim y t m s g o ho t wa e e t s it r l s s e De i n f r s r - v l ng h pa s f leZ HAO n— i H IJa—a Xi g me,S in to, GUO n— in Ho g xa g( n I s t t fAp l d Op is Xi n t u e o p i tc,Xia 1 0 5,Ch n ) a i e n7 0 6 ia

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o v l n t 一 7 0~ 8 0 n . Th f e t o h i r c s i g e h o o y a d t e fl f wa e e g h 5 1 m e e f c f t e ma n p o e sn t c n l g n h i m t ik e s o h p i a c a a t rs is o h h r— v l n t a s fle s d s rb d As a h c n s n t e o tc l h r c e it f t e s o t wa e e g h p s i r i e c i e . c t r s l o h o r c i n, t e b s y t k h im y t m s f u d Th im y t m e u t f t e c r e to h e t wa o ma e t e f l s s e wa o n . ef l ssep e a e i hi wa w

as e t d n rp rd n t s y t s e i dif r nt n r m e t o ii ns The xp rme r s l f e e e vion n c nd to . e e i nt e u t s ows t a he s cfc to ft s fl s s e c n m e tt e r qu r me f t e d sgn. h h tt pe iia i n o hi i m y t m a e h e ie nto h e i

Ke r s s o t wa e e g h p s i e;d s g f fl s s e; e u v l n e r c i e i d x; y wo d: h r— v l n t a s fl r t e in o i m y t m q i a e t r fa tv n epe i iiy rod ct

引言短波通滤光片具有让某一部分波长的光透过， 而让另一部分波长的光截止的特性，此被广泛地因

应用于军品和民品的光学系统中。目前，由于具有各种膜系设计软件，镀膜工作者提供了很大的方为

便，而使人们忽略了对理论的探讨。此，文反因本

收稿日期：0 5 0— 3修回日期： 0 60— 0 2 0— 72; 2 0—11作者简介：兴梅 (9 7 )女，宁朝阳人，士，安应用光学研究所工程师，要从事镀膜方面的研究工作。E mal赵 17一，辽硕西主— i xn mez@ 1 6 c m ig ih 2 . o

膜系设计

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应用光学

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赵兴梅，:波通滤光片膜系设计等短

从理论的角度并结合自己的经验，通过实例对短波一一

通滤光片的设计原理、材料选择原理和镀膜工艺做

由于组合f詈H詈l有较好的短波通特性， 因此我们在设计短波通滤光片时常采用此膜系。中其

了详细的分析，给出了设计该膜系的要点、键并 n关p

工艺及结果。-∞一 n c) p

L代表低折射率层，H代表高折射率层。它是一个对称膜系，以中间层为中心，两边对称。简单的对最

1原理 1 1膜系等效折射率原理 .

称膜系由 3层膜[ q]成， PP组其特征矩阵为单层膜特征矩阵的连乘积，即

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式中，和瓯分别为 P和 q层的有效相位厚度；和分别为 P和 q层的等效折射率。对上式作乘法运 算，简后得化∞S

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由于对称膜系的特征矩阵和单层膜的特征矩阵具有相同的性质，因此可以用 1层特殊的等效单层膜来代换，即一

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( 3 )

其中等效折射率 E和位相厚度 …… 此处隐藏：5759字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……