集成电路

第1期 谷健等：集成电路电路测试技术与应用 61

验证、入厂检验、生产测试、特性和失效分析等。目前ＩＭＳ公司测试站的产品主要有：Logic_Master_XL、　Logic_Master_ATS、ATS_Blazer!、ATS_FT等。我所引进的就是ATS60e_Blazer!测试系统。　

ＡＴＳ测试系统由三部分组成，它们是：ＳＵＮ工作站（ＳＵＮ＿ＳＯＬＡＲＩＳ２．６；ＬＡＢＶＩＥＷ５．０）、ＡＴＳ测试台主机（ＡＴＳ６０　ｅ），以及机柜中各外接程控仪器（一般包括可编程直流电压源ＨＰ６６２４、数字电压表ＨＰ３４５８Ａ、任意函数波形发生器Progmatic２７１１）。　

ＡＴＳ测试系统的硬件设备提供了操作系统的功能，可以使用ＡＳＣＩＩ命令行语句与ＡＴＳ主机通讯。ＩＭＳ测试环境软件系统框图如图２所示，其中提供给用户的应用有　l ＩＭＳ界面：交互式屏幕界面；　l ＩＭＳ命令：交互式命令界面；　l ＩＭＳ_Shmoo：交互式Shmoo测

试界面；

l IMS_MATSS：控制以太网与LM

连接的程序。通过 MATSS服务器 访问ＡＴＳ主机的多进程示意图如图　３所示。

l ＩＭＳ＿ＴｅｓｔＬＩＴＥ库：用Ｃ语言以及　

ＴｅｓｔＶＩＥＷ作的控制功能库。　l 可选的软件：例如，ＴｅｓｔＶＩＥＷ和　

ＩＭＳ＿Ｌｉｎｋ提供了其它的附加功能。　　

图２　　ＩＭＳ测试系统框图

图３　　多进程通过　ＭＡＴＳＳ服务器访问ＡＴＳ主机