84 中国惯性技术学报 第17卷

图6中，左图为标准仪器测试数据，右图为虚拟仪器测试数据。由对比图可以看出，虚拟仪器测试曲线和标准仪器测试曲线基本重合；由原始数据得,虚拟仪器测试得截止频率fc=154.9 Hz，标准仪器测试结果为fc=158.5 Hz，相对误差为2.27%；幅值比误差最大值为0.151 dB，相位差最大误差值为0.644°。可以得出结论：所设计的动态特性测试仪器测量误差已经和标准仪器相差无几，完全满足设计要求；理论数据和实验数据不符是由部分元件参数的不准确导致。

4 结 论

本文所介绍的微机电系统动态测试仪是基于虚拟仪器技术，在LabVIEW平台下开发的。该仪器扫频范围0.1 Hz～10 kHz，扩大了低频频率范围，更符合微机电系统的测试要求，并能在关键频率附近增加测试频率点以提高测试精度；A/D输入最大电压±10 V，动态范围70 dB；D/A输出电压范围±100 mV～±10 V；最小带载阻抗600 ；精度±0.2 dB/0.7°。

该设计在充分发挥硬件和软件性能的基础上，实现了动态特性测试所需要的各种功能要素：信号发生、信号采集、信号处理、图形显示、

数据存储和报表生成等。由于采用了高精度的24位数据采集卡，该仪器性能有了很大改进。此外，以软件为核心的虚拟仪器测试系统能方便地进行功能扩展，以实现不同用户的需求，并满足诸如噪声和频谱分析等测试。

参考文献(References):

[1] 叶齐鑫，侯国屏，赵伟. 虚拟仪器环境下的频率特性测试方法[J].

电测与仪表，2005

，42(6)：1-5.

YE Qi-xin, HOU Guo-ping, ZhAO Wei. Frequency characteristic test methods based on virtual instruments[J]. Electrical Measurement and Instrumentation, 2005, 42 (6): 1-5.

[2] 汪翠英，裴锋

. LabVIEW中Word报告生成功能开发[J]. 仪器仪表用户，2005，12(1)

：95-96.

WANG Cui-ying, PEI Feng. Development of word report generation function base on LabVIEW[J]. Electronics Instrument

Customer, 2005, 12(1): 95-96.

[3] Changqi Yang, Tingting Xie, Baoping Tang. A new method for noise octave analysis based on virtual instrument[C]// Proceedings of 5th ISMTII (Egypt), Sept.2001: 329-333.

[4] 李童杰，董景新，刘云峰，等. MEMS加速度计敏感元件测试仪的设计与实现

[J]. 国外电子测量技术，2008，27(4)：

23-26.

LI Tong-jie, DONG Jing-xin, LIU Yun-feng, et al. Design and realization of testing instrument applied to MEMS accelerometer sensor[J]. Foreign Electronic Measurement Technology, 2008, 27(4): 23-26. [5] 李伟华，庄奕琪. 基于虚拟仪器的频响分析系统[J]. 仪器仪表学报，2004，25(4)：354-357.

LI Wei-hua, ZHUANG Yi-qi. Frequency response analysis system based on virtual instrument[J]. Chinese Journal of Science Instrument, 2004, 25(4): 354-357.

[6] 胡佩达，董景新，赵长德，等. 微机械加速度计自动测试系统[J]. 中国惯性技术学报，2008，16(2)：212-215.

HU Pei-da, DONG Jing-xin, ZHAO Chang-de, et al. Automatic measuring system of MEMS accelerometer[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2008, 16(2): 212-215.

[7] Jomikow C Z, Michalewicz Z. An experimental comparison of binary and floating point representations in genetic algorithm[C]// Proc of ICGA, 1991: 31-36.