基本薄膜材料总汇(3)

名称: 一氧化硅(SIO)

熔点较低,可用钼舟或钛舟蒸发,但需要加盖舟因为此种材料受热直接升华. 使用电子枪加热时不能将电子束直接打在材料上而采用间接加热法. 制备塑料镜片时,

一般第一层是SIO,可以增加膜的附着力.

名称:OH-5(TIO2+ZrO2)

呈褐色块状或柱状

尼康公司开发之专门加TS--ェート系列抗反射材料,折射率受真空度,蒸发速率,氧气压力的影响很大,蒸镀时不加氧或加氧不充分时,制备薄膜会产生吸收现象,但是我们在实际应用时没有加氧也比较好用.

名称:二氧化镐(ZrO2)

ZrO2具有坚硬,结实及不均匀之特性,该薄膜有是需要烘干以便除去它的吸收,其材料的纯度及为重要,纯度不够薄膜通常缺乏整体致密性,它得益于适当使用IAD来增大它的折射率到疏松值以便克服它的不均匀性.目前纯度达到99.99%基本上解决了以上的问题.SAINTY等人成功地使用ZRO2作为铝膜和银膜的保护膜,该膜层(指ZRO2)是在室温基板上使用700EV氩离子助镀而得到的.一般为白色柱状或块状,蒸发分子为ZRO,O2.

柱状或块状较少.

真空度小于2*10-5Torr条件下蒸发可得到较稳定的折射率，真空度大于5*10-5Torr时蒸发，薄膜折射率逐渐变小。

蒸镀时加入一定压力的氧气可以改善其材料之不均匀性。