传感器原理与测量电路

六传感器

NAU

6A.8 栅传光器感2

NAAU6. 光栅传感器8 W2 taα= ( n 1) c a θt n Wc sθ1 各o纹条间距的:为各 条的间纹距为 2 B= WW 2 2n θs+ c 2)si ( θo W =1W W1 2 22 W + 2 2 2 1cs W W W θo 1

几何由学理光论可得到以光长莫尔条纹的栅率为斜:由 几光学何论可理得以长光栅到尔莫条纹的率为斜其中, 主光W栅的光常数栅 其;中1----主光栅 的栅光数常 主光的光栅栅数常 2----指示W栅光光栅的数常； 示光指栅光的常数栅指示 光栅光的栅数；常 ----两光栅栅θ线夹的角 两。光栅栅线夹角的 。光栅两栅线的夹3角

NUAA6.8 栅传光感器

尔莫条的特纹(征)莫尔条纹的变1规律化) 片光栅两对移过相一个栅，莫距条纹移过一尔条个纹间。距 于光的衍射由与涉作干用，尔条莫的变化规律纹似近(正)弦余 数函变化周期，数与光栅两相对移的过距数栅同步。( 2放)作大 )用 若两光栅的光栅常相数等都，为p由于θ值，小很，莫条尔 纹 间距θB= p/(2i ≈p/) θ明显，可出莫尔看纹条放大有作，用 sn 2大放数为倍K=B /p1≈ /θ 。例 如p= .01mm,0θ =0 0.r1d,a B得= mm, 1大放100倍。( 3均)栅化误距作差 用4)

NUA

A.86 栅光感传

a器b

c

d

e

NUA5

A6.8光 栅传器

感光栅圆6

UNAA

.68 栅传感光器辨向理

原敏元光件

/1B

栅 4 分 微u’1u 2 ’微分 Y27 B

Y1

N

AAU

.6 光8传栅器感

细分技术 分技术是细应数用字感传时常器用的一种技术其 ，的目提高是量测分的辨率和准确。度 各数种字感器的输出传均为冲脉，个脉冲间每隔相当于一定的 测被，量为脉称当量冲。脉冲量当为即该传 感器分辨率的。所谓分，就细是原在信号一个的脉间冲 隔内，分出均个脉冲间n隔使脉冲当，减量至原小的 来/1n ,将辨率分提高倍n也即计。脉数冲频的提率高n 倍，故称为也倍n。频常 用方法的：有接倍频、直位置细、分桥电分细、 幅细分鉴和机微分细。 8等

N

UAA6.8 栅光传器感细分术技位置细分基本理是在一个信原号周期 安放内两以个上检 测件。元9

NAAU6.8 栅光传器

感分细术技位置细分 加计脉冲数 Q +减,计数 冲 Q 脉和主计数脉- 冲Q的 计算10

NAA

6.8U 光栅感器传

分细技

电桥细分术 u2R+ '2 '' Rm = unsφ ) i (θi 1 1 1 R'R ( + )+ ' ' RR R ' ' L'11

NUAA6.8 光栅感传器细技术分鉴幅细分

幅鉴分是细利基用准信在号同不细分点的不同幅值 进行细来。分细 分的不点同值幅进行来分细。

1

NU2AA6.8 光栅感传器

细技分

微机细分术辨 向 路电13

UAN

6.A9 纤光传器感

纤结光及构导光其示意图

1n> n2

41

UAN

6.A 光纤9传器

感数孔径

s值n θ i =c

A n n N=2 221 51

N

AUA

.6 光9传感器

纤根据纤在光感传中器作的，用光传纤感可器以 为分能功型光传纤感器、非能型功、(传型)光 光传纤感和器光拾型纤光感传器类。三16