先进制造技术——微机电系统

微机电系统(MEMS)Micro-Electro-Mechanical Systems

一、MEMS技术的历史 微系统是从微传感器发展而来的，已有 几次突破性的进展 70年代微机械压力传感器产品问世 80年代末研制出硅静电微马达 90年代喷墨打印头，硬盘读写头、硅加速度 计和数字微镜器件等相继规模化生产 充分展示了微系统技术及其微系统的巨大应 用前景

微电子压力传感器F

利用了硅的三微结构与机械特性

微电子湿度传感器聚合物薄膜 压敏电阻器

硅

吸湿膨胀

真空微电子平板显示器发光 玻璃 荧光粉 电 场 电子 硅尖锥 硅Si基体

利用了硅的三微结构 与机械加工特性

二、引 信息系统微型化 系统体积大大减小 性能、可靠性大幅度上升 功耗和价格大幅度降低

言

信息系统的目标：微型化和集成化 微电子解决电子系统的微型化 非电子系统成为整个系统进一步缩小的关键

控制部分 电子学

微电子学

机械 部分 传感 执行 MEMS

三、MEMS概念 从广义上讲，MEMS是指集微型传感器、微型执行器、 信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于 一体的微型机电系统 非纯电路装置

硅微尖锥F a b r i c a t i o n o f S i l i c o n T i p s f o r S c a n n i n g P r o b e M i c r o s c o p y

硅微齿轮

静电 弧形梳齿

硅微转子

硅微槽

硅微梁

硅微梁

硅微转动器