氦质谱电子测漏仪

机械

氦质谱检漏仪的工作原理

氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作探索气体制成的气密性检测仪器．其质谱原理如图所示。

接收器 离子源

氦离子

重离子

轻离子

氦质谱检漏仪的质谱学原理

灯丝发射出来的电子在电离室内来回的振荡，与电离室内气体和经被检件漏孔进入电离室的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，轨道半径

R

144M

10 4U BZ

式中R ——离于偏转轨道半径（cm）

B ——磁场强度（T）

M

——离子的质（量）／（电）荷比（正整数） Z

U ——离子加速电压（V）

由上式可知，当R、B为定值时，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而

被检测。

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目前氦质谱检漏仪的发展及其应用

目前氦质谱检漏仪的发展及其应用

在科学技术的不断发展的时代，氦质谱及其应用技术也在不断的发展与完善。这主要由两方面的因素所决定：一方面，检漏应用技术不断的对检漏仪提出新的要求，迫使仪器自身的更新；另一方面，检漏技术也在随时随地补充现有检漏仪在应用过程中存在的某些不足，因此二者的关系是相互补充、相互促进的。

1、氦质谱检漏仪的进展

经过近半个世纪的努力，今天的氦质谱检漏仪已告别了四十年代初期的情形。 集中体现在如下几个方面：

（1）便携式：最近各国推出的小型便携式检漏仪不仅灵敏度高，而且便于携带，给野外作业和高空作业提供了比较大的方便。