TiO_2_SiO_2复合薄膜的制备及光学性能研究_朱永安

发布时间:2021-06-08

第25卷第3期2013年5月    Vol.25No.3213.5 0嘉兴学院学报       JournaloJiaxinUniversit f g y·69·

/10.3969i.issn.1008-6781.2013.03.013

/TiOSiO22复合薄膜的制备及光学性能研究

朱永安

()嘉兴学院数理与信息工程学院,浙江嘉兴314001

//摘 要:采用溶胶-凝胶法制备TiOSiOiOSiO22复合薄膜,在T22溶胶-凝胶体系中掺杂表面活性剂

十六烷基三甲基溴化铵CTAB,通过简单提拉、迅速蒸发溶剂、后期热处理去除表面活性剂的方法制备出具

/有纳米结构的有机掺杂TiOSiOIR)研究掺杂薄膜表面的结构特征;利用22复合光学薄膜.利用红外光谱(

紫外分光光度计UV-VIS-NIR研究不同实验条件下制备的复合薄膜吸收透过性的影响;结合椭偏仪和分

/光光度计等手段对实验结果进行测量,研究了在实验室条件下TiOSiO22复合薄膜的性能及制备方法,结果

/表明,实验条件对TiOSiO22复合薄膜的制备非常重要.

/关键词:溶胶-凝胶;TiOSiO22复合薄膜;表面活性剂;有机掺杂

()中图分类号:TB383   文献标识码:A.008-6781201303-0069-05 文章编号:1

/THEPrearationandOticalProertiesofTiOSiOomositeFilm       22Cpppp

ZHU Yon-ang

(,,,,)ColleeofMathematicsPhsicsandInformationEnineerinJiaxinUniversitJiaxinZheian314001     gygggygjg  

:/AbstractTiOSiOomositefilmswasbsol-gelmethod.IR、UV-VIS-NIRsectrohoreared      -pypppp22c 

roertiestometerandELLIPareusedtochatacterizetheoticalandsurfacemicrostructureofthefilm.and               ppp

,rearasectrohotometermethodtheexerimentalresultsweremeasuredstudiedunderlaboratorcondition         -pppppy 

/,tionofTiOSiOomositefilm.Ithasbeenwithvariablerefractiveindexofsolthedeositionofreared              pppp22c

,SiOhinfilmsrefractiveindexin1.18~1.41betweenadustableTiOilmrefractiveindexin1.80~2.20be          -j2t2f

,,,tweenadustable.BellisometerinfraredsectrohotometerUV-visiblesectrohotometerroertiesofthe     jyppppppp 

/film werestudied.TheresultsshowthatexerimentalconditionsaboutrearationofTiOSiOcomosite           pppp22

comositefilmareverimortant.   pyp 

:;;;Kewordssol-geltitanium-silicadioxidecomositefilmssurfactantoranic-doin   pgpgy 

/SiOiOiOSiO2、T2以及它们的复合体系T22,因其化学性能稳定、光学性能优良、折射率可调节

[1]等优点在光学和微电子学等领域得到广泛的应用,如高反射膜、增透膜以及光波导薄膜等.制备的

、化学气相沉积法(、离子交换法、溶胶-凝胶法、L方法有火焰沉淀法(FHD)CVD)B膜技术、分

[2]子束外延生长法(这些方法各有其优缺点,溶胶-凝胶法因其制备设备简单、化学计量MBE)等.

可控、制备样品纯度高、成本低、易操作等优点,被广泛地应用于纳米薄膜的制备中.

采用溶胶-凝胶工艺制备各种材料已经在许多领域获得良好进展,并有更多的科学研究人员从事和关注着溶胶-凝胶法在涂膜方面的应用和发展.溶胶-凝胶镀膜具有制备过程在常温常压下进行、薄膜的厚度很容易控制、薄膜的纯度高、制备费用低、所需镀膜设备相对较为廉价、易实现大面积镀

[3]膜、镀膜过程易向工业化转化等优点.近年来,电磁波在人工周期性介质材料中的行为越来越受到

收稿日期:2012-12-14

,作者简介:朱永安(男,江西吉安人,嘉兴学院数理与信息工程学院实验师,硕士,主要研究纳米功能材料.1977- )

://///网络出版时间:2013-04-1017:08 网络出版地址:httwww.cnki.netkcmsdetail33.1273.Z.20130410.1708.010.html p

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