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薄膜外延生长的计算机模拟(5)

发布时间：2021-06-06

薄膜生长计算机模拟

期郑小平等：薄膜外延生长的计算机模拟

且可以从早期最大成核条件预计沉积较厚薄膜的最佳生长工艺

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