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ATHM系列磁悬浮分子泵安装注意事项培训

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Alcatel 磁悬浮

分子泵

磁悬浮复合型分子泵 从 400 l/s 到 2300 l/s

TH400M ATH1300M ATH1600M ATH2300M

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Alcatel磁悬浮分子泵的工作原理

横截面转子定子分子牵引级马达排气轴向磁性轴承吹扫气体温度传感器

支撑轴承径向磁性轴承

水冷系统

ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训— 3

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Alcatel磁悬浮分子泵的工作原理

Alcatel采用ACTIDYNE®磁力轴承(S2M专利),对转子进行五轴控制。位置传感器可获得各个轴向上的偏移量，根据该偏移量，控制器改变该轴向上的磁力轴承电流，从而使转子重新回到合理的位置。

V0

V0 - Vp

Signal processing

Rotor

Vp

ATHM磁悬浮分子泵使用注意事项培训— 4

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氮气吹扫可保护分子泵的轴承，电机等不受到工艺气体

的侵蚀。

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对于工作在较高压力或流量较大的工艺，沉积物容易累积在靠排气口端从而造成泵的损坏。

内置加热带可以帮助泵运行在较高温度（最高75摄氏度），从而避免沉积物的累积；

加热带由控制器进行温度控制，ATHMT型分子泵已随

泵携带冷却水阀

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分子泵转速的调节 – 待机转速（Standby）

ATHM磁悬浮分子泵的转速可以调节运行在最低待机转速与额定转速之间，这样可以根据客户的工艺情况（如运行在较高压力下）使泵运行在最优状态；

对于分子泵进气口压力 < 0.1 mbar的情况，分子泵转速可以调节在以下范围：

最低转速 – 15000 rpm

最高转速 – 34000 rpm（ATH1300M/MT）；

39000 rpm（ATH1600M/MT）； 31000 rpm（ATH2300M/MT）。

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磁悬浮分子泵的安装要求

磁悬浮分子泵运行时所具备的动能非常高，泵出现机械故障或发生意外时，没有正确安装的泵完全可能 由于动能传递到泵体而使得泵脱 离设备从而造成事故！！当泵在运行过程中转子突然卡死时， 转子的动能将被传递到泵体和设备 上。

通过模拟分子泵损坏时的最坏状况 （转子在全速时碎成两半），可以 知道三种顺时负载的状况：

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轴向载荷

转子可能弹出分子泵进气口，从而影响到进口阀门或系统中的其他部件。 如果该部件离分子泵进口很近且有较高的硬度，则系统将承受较高的

轴向载荷；弯矩

转子将会对泵体产生径向的力，而该径向力则最终造成对整个系统产生一定的弯矩；扭矩

转子在减速过程中将产生一定的扭矩，并最终传递给系统。

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最大轴向载荷与最大弯矩基本上发生在同一时间，而最大

扭矩则一般会延迟几毫秒之后才发生。

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ATH1300M – ATH2300M 最大轴向载荷，弯矩以及扭

矩一览。

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因此，在安装分子泵，紧固螺栓时必须考虑到最大载荷，根据要求来紧固螺栓！

应当使用扭矩扳手根据要求的数值（N.m）来紧固螺栓！！

扭矩太小：螺栓太松（安全隐患）

扭矩太大：可能损坏螺栓

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我们强烈建议分子泵进口采用ISO-F或CF-F法兰。我们之所以不推荐使用ISO-K法兰，是因为：

法兰上并没有任何标识（ISO-F法兰上有螺孔）告诉用户在安装分子泵时应当用多少个钩头螺钉来紧固；

紧固钩头螺钉时并不如紧固螺栓（ISO-F法兰）那样简单；

ISO-K法兰不能够防止当分子泵发生突发事故时扭矩所造成的泵的旋转；这将可能造成进气管道以及氮气吹扫管路的损坏，从而可能造成对人的伤害。

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如果设备法兰的设计不能够承受分子泵突发事故时产生的最大载荷，则需要为分子泵增加一个支架（分子泵底部的6个M10螺纹孔可用于这种情况）

设备的机架应足够牢固以吸收分子泵 突发事故时转子的动能，因此需要考 虑以下因素：

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最大载荷法兰的尺寸螺栓的数量以及质量

分子泵的进气口和设备腔体之间不应 使用转接法兰或弯头

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进气口：安装进气滤网，然后将泵安装到设备上或安装分子泵进气口阀门。进气滤网的安装：

将进气滤网(2)放置在分子泵进口腔体的沟槽中(1)；将金属环(3)也放置到分子泵进口

腔体的沟槽中并将之前放入的进 气滤网压紧。

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排气口的连接：如果所抽气体具有腐蚀性或毒性等，应确保所抽气体经过排气口之后连接到尾气处理装置！

强烈建议在分子泵排气口与前级泵之间安装前级泵截止阀！

如果不安装该阀的话，则可能 造成分子泵突然停机时减速时 间增长，从而可能降低备用轴 承的寿命；

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尽可能将截止阀靠近分子泵排 气口安装！

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