太阳能级直拉硅单晶圆棒质量要求(5)

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6.2 直拉单晶硅圆棒的导电类型测量按GB/T 1550进行。 6.3 直拉单晶硅圆棒的电阻率四探针法测量按GB/T 1552进行。 6.4 直拉单晶硅圆棒的少数载流子寿命按GB/T 1553进行。 6.5 直拉单晶硅圆棒的晶向及晶向偏离度测量按GB/T 1555进行。 6.6 直拉单晶硅圆棒的间隙氧含量按GB/T 1557进行。 6.7 直拉单晶硅圆棒的代位碳含量按GB/T 1558进行。 6.8 直拉单晶硅圆棒的晶体完整性检验按GB/T 1554进行。 6.9 直拉单晶硅圆棒的外观检验为目测。 7 检验规则 7.1 出厂检验

在产品生产工艺不变、原材料基本一致的情况下，产品由质量监督部门进行检验，保证产品质量符合本标准的规定，并填写产品合格证。 7.1.1 组批

单晶硅圆棒以组批的形式提交验收，每批应由相同规格的单晶硅圆棒组成。 7.1.2 检验项目

a) 每根单晶圆棒的检验项目有：导电类型、晶向、外形尺寸、电阻率范围。

b) 供需双方协商的检验项目有：间隙氧含量、代位碳含量、少数载流子寿命及晶体完整性。

7.1.3 抽样

每批单晶硅圆棒必须全检（即100%） 7.1.4 取样位置

a) 单晶硅圆棒氧含量及碳含量测试样块的取样

氧含量测试样块取样时应在晶棒的头部切取试样。 碳含量测试样块取样时应在晶棒的尾部切取试样。 b) 其他测试样块的取样

其他测试样块可在晶棒的任意一端切取试样。 7.1.5 检验结果的判定

导电类型、晶向、电阻率、外形尺寸4项检验，若有一项不合格，则该单晶硅圆棒为不合格。 7.2 型式检验

在生产工艺有较大改变，原材料变动，长期停产恢复生产，或供需双方对交货产品质量有异议时进行，需对产品进行以下检验或可按仲裁或司法鉴定程序进行检验。