太阳能级直拉硅单晶圆棒质量要求(3)

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太阳能级直拉单晶硅圆棒质量要求

1 范围

本标准规定了太阳能级直拉单晶硅圆棒的质量要求。 本标准适用于太阳能级直拉单晶硅圆棒的检验。 2 规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T 1214.1 游标类卡尺通用技术条件

GB/T 1550 非本征半导体材料导电类型测试方法 GB/T 1552 硅、锗单晶电阻率测定直排四探针法

GB/T 1553 硅和锗体内少数载流子寿命测定光电导衰减法 GB/T 1555 半导体单晶晶向测定方法

GB/T 1557 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法 GB/T 1558 硅中代位碳原子含量红外吸收测量方法 GB/T 1554 硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法 3 术语定义

下列术语和定义适用于本标准。 3.1

崩边

晶棒径向端面呈现局部破损，称为崩边。在崩边处可以观察到晶体金属光泽的亮点。 3.2

裂痕、裂纹

特征为其晶体内部存在微小的缝隙，裂纹、裂痕容易沿晶体解理面产生。 3.3

气孔

晶体内存在空洞时，在切断面上可以见到无规则、大小不等的小孔。 3.4

位错