S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用(5)

S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用版)

(5) 消像散。聚焦和像散校正是相互关联的，需要交替重复进行。推荐在消像散的时候使用“Red1”扫描模式。当没有像散时，在最佳聚焦点上就可以获得清晰的图像；当存在像散时，在欠焦或过焦条件下，图像沿某一方向拉长。在最佳聚焦点上聚焦，交替调节调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮，调节像散以获得清晰的图像。若在消像散过程中图像发生位移，则需重复步骤(3)中的选中“Stigma Align. X”，调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮，至图像不再摇摆，而是以十字线中心为中心周期性地放大缩小（类似心脏前后跳动），然后选中“Stigma Align. Y”，同样操作，进行像散基准对中。

(6) 此时通常能观测到清晰图像，若未达到效果则重复步骤(4)(5)。

(7) 在图像调节结束之后，可以将扫描速度设定为Slow1-4（通常为Slow 3），确定图像的质量，若对图像质量比较满意，则点击捕捉“1280”按钮，捕捉的图片将出现在SEM 窗口下方。保存照片时，单击该窗口中的图片。选中的图片背景将变成黄色。可用Ctrl键多图选择，或Shift键连续选择。单击窗口左侧的“Save”按钮，出现“Image Save [Captured Area]”对话框，如图14所示，可选择路径、文件名、保存信息和图像类型。在“Setup”操作面板的“Record”菜单栏中，可选择照片下方的信息栏所显示的信息。如图15所示。每张照片在完成保存以后，图像右上角都将显示“Saved”红色字样。

图14 Image Save [Captured Area]对话框 图15 record 设置

三、 关机操作

(1) 当所有样品测试完成后，单击操作界面左上角“OFF”键关闭高压，然后单击操作界面右上角“HOME”键，等待绿色指示条停止闪烁，样品台恢复至初始交换位置。

(2) 按照样品交换流程取出样品台。

(3) 样品交换舱抽真空完成后，可关闭软件——单击操作界面右上角“X”按钮。出现“Exit SEM Manager”显示框。一分钟左右，SEM程序即自动退出。

(4) 关闭前面板显示单元 “DISPLAY”开关。关闭循环水。