S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用(3)

S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用版)

(1) 把1.1已制备好的样品台装入样品座，并使用高度规限定样品台高度。确保样品的最高点和高度规的下边缘齐平，可低1-2mm，如图5所示，并确认样品台与调节螺杆、紧固盘片与样品台座上紧。（很重要，一旦部件掉进样品室会很麻烦。）

(2) 点击软件右上方“HOME”键，确认样品台处于初始位置。绿色显示条停止闪烁后，样品台回归交换状态。 如图6所示。

(3) 按下样品交换腔上方 “AIR”按钮至闪烁，蜂鸣器响后，用双手拉开样品交换腔。如图7所示。

(4) 样品交换杆手柄顺时针旋至 “UNLOCK”位置后，把样品座插入样品交换杠并逆时针旋转交换杠手柄至“LOCK”位置，锁紧样品座。 如图8所示。

(5) 将交换杆向外拉至尽头卡紧，合上样品交换腔，按紧。按“EVAC”按钮至闪烁；真空泵启动时可松手。

(6) 蜂鸣器响后，按“OPEN”按钮至闪烁；蜂鸣器响后，交换门打开。

(7) 推入样品杆到底；将样品杆从“LOCK”位置转回“UNLOCK”位置后抽出，按“CLOSE”按钮至闪烁；蜂鸣器响后，交换门关闭。

图5 高度规 图6 交换状态按钮 图7 交换腔控制按钮 图8 手柄旋钮

2.4 样品观察

根据自己样品的特点和观察信息的不同，需要选择不同的加速电压，发射电流，工作距离和接收探头。可在操作面板“SEM”菜单“SIGNAL SELECT”选区中，选择“Mix（混合）”、“Upper（上探头）”或“Lower（下探头）”；接收“SE（二次电子）”信号或“BSE（背散射电子）”信号；BSE下拉列表中，选择“LA0-LA100、LH”控制SE信号和BSE信号的比例；“OPE.CONDITION”选区中“WD”下拉列表中，选择相应的工作距离（默认8mm）。“STAGE”菜单“Z / TILT”选区中，在范围内输入数字，更改样品台高度Z（默认8mm,可减小到5mm），倾斜度等。合适的工作条件能拍出理想的照片。在样品观察过程中，为了获得清晰的图片，需要对光路进行合轴；并进行聚焦消像散，调节过程需反复多次进行。

图9 软件界面功能说明