S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用(4)

S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用版)

(1) 根据实际放入样品台在软件右上方设置样品台尺寸Sample Size，样品台高度Sample Height通常选Standard，若样品起伏较大可适当选+1-2mm。

(2) 点击高压显示窗口，选择合适的加速电压Vacc，（通常碳管选3kV），电流可不选，程序会自动匹配。确认后点击左上角红色“ON”高压开启按钮，会先跳出样品台大小高度确认对话框，确认无误后点击“OK”。（若此时是flashing后第一次加高压，按“ON”按钮时观察并记下Vext电压，当Vext大于5.3kV时准备更换钨灯丝。）

图10 样品台尺寸与高度确认对话框

(3) 对中。每次更改电压、束流、聚光镜线圈电流强度、工作距离等参数后，便要对中。加上高压后，单击操作界面上的“Align”键，出现“Alignment”对话框。 选中“Beam Align”，调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮，使圆斑落在靶环正中。如图11、12所示。

图11 Alignment 对话框 图12 光斑对中

在所需要的放大倍率上，选中“Aperture Align”，调节旋钮盘的X和Y旋钮（STIGMA / ALIGNMENT）至图像不再摇摆。再选中“Stigma Align. X”，调节旋钮盘X和Y旋钮，至图像不再摇摆，而是以十字线中心为中心周期性地放大缩小（类似心脏前后跳动），然后选中“Stigma Align. Y”，同样操作。 单击“Close”关闭对话框。

(4) 聚焦。用鼠标点击倍率状态切换按钮“H/L”，选择低倍模式，点击ABC按钮自动调节对比度和亮度，再滚动轨迹球，寻找明显参照物（可用样品台边缘或样品边缘）。调节粗聚焦Coarse 和细聚焦Fine，使轮廓清晰。再点击切换按钮“H/L ”，切换到高倍模式,用Coarse/Fine 聚焦使轮廓清晰。若在聚焦过程中图像出现位移，则需重复(3)中的“Aperture Align”，调节旋钮盘的X和Y旋钮至图像不再摇摆，进行物镜可动光阑对中。

图13 手动操作面板