S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用(2)

S-4800日立扫描电子显微镜(SEM)简易操作指南(通用版)

a) 开启冷却循环水电源，循环水温度显示应在15-20℃，水位应浸没金属线圈。 b) 按下位于桌子右上角的显示单元“DISPLAY”开关，如图2所示。

c) 电脑自动启动，根据界面提示按“Ctrl+Alt+Delete”，口令为空，直接Enter进入系

统。系统自动启动程序，口令为空，直接Enter进入程序。如图3所示。

图2 按下“—”启动Display

图3 空口令进入程序

2.2 轰击（flashing）

场效应电子扫描显微镜（FE-SEM）在程序启动后会提示进行flash，如图4所示。（去除电子源——FE尖端吸附的气体分子，起清洁作用。）通常是每天开始使用SEM时flash一次，8小时，发射电流开始不稳定，需要再轰击一次，同样记录下电流Ie。（注意flash不需要开启观测用的电子枪高压，软件显示高压off为灰色状态。）

轰击后可以立即观察图像。但是在最初的1小时左右，有时会有图像干扰（图像中出现明暗的横线）。进行高分辨率的观察时，最好在轰击完1小时以上后再进行观察。 具体操作过程：

(1) 点击控制面板上的加速电压显示区域，出现加速电压HV设定画面。点击“Flashing”键后，在HV设定画面出现轰击执行（Flashing Execute）窗口。

(2) 确认轰击强度Intensity为“2”后，点击“Execute”按钮。

(3) HV的Ie（发射电流）显示器显示2秒钟轰击产生的发射电流，电流值大约为30uA-40uA，有时仅轰击一次，达不到所要求的值，这时需要连续轰击2-3次，若还达不到要求可换Intensity 3。（为了保护FE灯丝，程序自动计数25秒后，才进行下一次轰击。）

图4 Flash 过程图

2.3 样品装入

制备好的样品需要放到样品室进行观察，样品室真空度<E-3 Pa。(按前面板MODE可显示SC的真空度LE-3)样品室和外界环境通过样品交换腔连接，样品交换腔体积较小，抽放真空较容易。放样过程是先破坏样品交换腔真空，

拉开样品交换腔把样品放入；

再对样品交换

腔抽真空；最终把样品放入样品室。