内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（12）实用新型专利

（10）申请公布号

CN202332716U

（43）申请公布日2012.07.11（21）申请号CN201120272666.4

（22）申请日2011.07.29

（71）申请人河北工业大学

地址300401 天津市北辰区河北工业大学北辰校区

（72）发明人赵智忠;王丽君

（74）专利代理机构天津市杰盈专利代理有限公司

代理人王小静

（51）Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

（54）发明名称

内置冷阴极规管的真空灭弧室真空度测量装置

（57）摘要

本实用新型是一种内置冷阴极规管的

真空灭弧室真空度测量装置。它包括真空灭

弧室主体、电源、冷阴极真空规管与测量电

路，冷阴极真空规管封装于真空灭弧室内

部，冷阴极真空规管封接在真空灭弧室静端

盖板的内侧，与真空灭弧室成为一体，在灭

弧室的静端盖板引出测量电极；阴极为两块

不锈钢平板并相对放置；中间的是框形阳

极，与静端盖板上的阳极引出极连接；外加

磁场垂直于电极平面，磁场由钕铁硼永磁体

提供，永磁体位于两块平板阳极外侧和规管