莱宝真空泵SV200,300中文说明书(11)

莱宝(leybold)SOGEVAC 真空泵SV200,300中文说明书操作说明书 配件清单

遵守所有安全规程。

2.2.1进气口侧

泵的进气口法兰为内螺纹连接。用合适的连接件（见图3和第1.4节），可把泵连接到真空系统上。 进气管的横截面至少要与进气口相同。如果进气管管径太小，会降低抽速。

我们建议在螺纹接头使用LOCTITE或TEFLON胶带进行螺纹连接，以确保真空密封。（尤其是危险气体时） 警告

-泵连接到进气管道应无任何应力。在进气和排气管使用软管或管接头，以便泵检修时，很容易拆掉它们。 。在进口有过压存在时，不得启动泵。 -进口最大压力不得超过大气压（约1013mbar）

-安装管道使用的材料类型应考虑到所抽气体的种类。选密封件也同样。

如果工艺气体中含有粉尘，除了随机的粉尘过滤网外，绝对必须安装粉尘过滤器（见第1.4节）。我们建议用

三通（3/13）或弯头（3/14）水平安装粉尘过滤器。这可确保拆过滤器时，不会有粉尘颗粒掉入进气口。

有3种不同滤芯的进口过滤器。金属滤芯可防止纸、塑料等固体颗粒进入泵；纸质滤芯可去除小于1微米以下

的灰尘和粉末等小颗粒；活性碳滤芯可吸收酸，溶剂等化学物质蒸汽。如果活性碳滤芯存放在潮湿的地方，在使用前，应将它在212℉下烘干2小时。

当抽蒸汽时，在进口和出口侧我们建议安装冷凝器。（见第1.4节） 当抽危险气体时，进气管路必须紧密。

绝不允许固体颗粒或液体进入泵内。

排气口侧 2.2.2

SOGEVAC装有内置的排气过滤器，即使在较大的气体流量下，它也能捕集油雾，可保证排出气体中无油雾。如果排气过滤器堵塞，压力安全阀（6/28

）打开，过滤器被旁路。从而排出气体中的油的含量增加，泵的油耗

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0510-82205461 13382228759 李占磊