PMMA微流控芯片溶剂键合工艺
发布时间:2021-06-08
发布时间:2021-06-08
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号
CN109772483A
(43)申请公布日 2019.05.21(21)申请号CN201910077790.6
(22)申请日2019.01.28
(71)申请人佛山市铬维科技有限公司;广东工业大学
地址528225 广东省佛山市南海区狮山镇南海软件科技园(研发楼A栋)A401-11室(72)发明人邓宇;张会寅;郭钟宁;郭磊;刘宇迅;朱威;朱凤一
(74)专利代理机构广州知顺知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人彭志坚
(51)Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
PMMA微流控芯片溶剂键合工艺
(57)摘要
本发明提供一种PMMA微流控芯片溶剂键
合工艺,包括如下步骤:第一步、溶剂配备:溶
剂为二氯甲烷、丙酮、异丙醇当中的任意一种,
或任意两种按一定配比配制的有机溶液,或三种
按一定配比配制的有机溶液;第二步、芯片退
火:芯片基片和盖片退火,以消除内应力;第三
步、溶剂加热:先将配备的溶剂加入敞口容器,
再将敞口容器加热,以将溶剂挥发甚至沸腾;第
四步、溶剂冷凝:将芯片置于溶剂液面上方,挥
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