半导体工艺教案第七章光刻(3)_学科文库

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半导体工艺教案第七章光刻(3)

发布时间：2021-06-07

图7-5 气相成底膜示意图

2.旋转涂胶

图7-6 旋转涂胶示意图

3.软烘

图7-7 软烘工艺的原理示意图

4.曝光

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