分析型扫描电子显微镜检定规程1. 分析型扫描电子显微镜检定规程的说明

JJG(教委)010-1996

(中文)分析型扫描电子显微镜检定规程

(英文) Verification regulation for analytical scanning electron microscope 国家教育委员会 归口单位

起草单位 国家教育委员会

万德锐 林承毅 主要起草人

批准日期年1月22日 实施日期年4月1日 替代规程号 无 适用范围 本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显

微镜(以下称扫描电镜)的检定。

主要技术要求外观要求

2. 安装条件 3. 检定环境 4. 检定用标样及设备 5. 检定项目

是否分级 无

3 检定周期(年)

2 附录数目

出版单位 科学技术文献出版社

检定用标准物质

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备注 编号

名称

2.分析型扫描电子显微镜检定规程的摘要

2 范围

本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显微镜(以下称扫描电镜)的检定。 2.1 原理

经过电子光学系统聚焦的电子束在样品表面扫描，受照射的部位便激发出二次电子、背散射电子、特征X射线等多种物理信号。这些信号经检测、放大后，用来调制阴极射线管的亮度，即可观察到样品的图像。通过对特征X射线的检测、校正和计算，便可对样品进行元素成分的定性和定量分析。 2.2 构成

分析型扫描电镜是由常规的扫描电镜和X射线能量色散谱仪两部分组合而成。它既能观察样品的微观形貌和结构，又能分析样品微区的元素成分。

扫描电镜，由电子光学系统、信号检测和放大系统、扫描系统、图像显示和记录系统、电源系统以及真空冷却系统等部分组成。扫描电镜按其电子枪类型和分辨率等性能分为热发射普通型、热发射精密型和场发射精密型三个等级(表1)。X射线能量色散谱仪，简称X射线能谱仪，由半导体探测器、前置放大器、主放大器、脉冲堆积排除器、模拟数字转换器、多