446 激 光 技 术2003年10月

它的化学成分和晶体结构与脊椎动物的骨及牙齿的矿物成分非常相近,且与生物组织有良好的相容性。目前在种植牙和人工骨等方面有广泛的应用。传统的羟基磷灰石薄膜的制备方法有等离子喷涂、物理气相沉积和烧结等。这些传统的方法具有一定的局限性,如涂层的结晶度低、存在不希望的相、涂层和基体的结合强度太低等。而脉冲激光沉积技术可以克服这些缺点,得到高质量的羟基磷灰石薄膜。通过对在不同基底温度下脉冲激光沉积的羟基磷灰石薄膜的研究发现基底温度与薄膜的形态有密切的关系;并且发现基底温度在480 时得到的薄膜的结晶度最好,还发现随着基底温度的升高,Ca/P的比例升高

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。Zeng等人用XPS,EDX,FTIR等分析

方法研究了各种工艺参数对涂层的形貌、结晶度和

结合强度等的影响[28]。Cleries等对沉积的羟基磷灰石薄膜的机械性能进行了测定,发现用Nd YAG激光沉积得到的颗粒状的薄膜机械性能比用准分子激光沉积得到的柱状形态的薄膜好。Fernandez等研究了厚度的不同对沉积的涂层性能的影响,发现涂层最初由非晶态的磷酸钙组成,在350nm厚时开始出现羟基磷灰石,磷酸三钙在更厚的涂层中出现[30]。

[29]

4 发展前景

由脉冲激光沉积技术的原理、特点可知,它是一种极具发展潜力的薄膜制备技术。随着辅助设备和工艺的进一步优化,将在半导体薄膜、超晶格、超导、生物涂层等功能薄膜的制备方面发挥重要的作用;并能加快薄膜生长机理的研究和提高薄膜的应用水平,加速材料科学和凝聚态物理学的研究进程。同时也为新型薄膜的制备提供了一种行之有效的方法。

参

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考文献

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