本文利用超声喷雾法制备了SnO2：F透明导电薄膜,SnCl4·5H2O与NH4F分别用作锡源与氟掺杂,玻璃衬底温度控制在360℃。X射线衍射仪、扫描电镜、紫外可见分光光度计与四探针仪分别用于表征样品的晶体结构、表面形貌、透光率与面电阻。研究结果表明：超声喷雾沉积的SnO2：F薄膜主要为四方晶系的多晶薄膜,并且随着沉积条件的改变,在(110)、(220)晶向出现不同程度的择优取向,其

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第3 l卷第 1期 20 0 8年 2月

电子器件c iee J un lOfEe to D vcs hns o ra lcrn e ie

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Ab ta t H i h yta s a e ta d lw-e it n eSn: i a eb e e o i d b n u ta o i p a sr c: g l r n p r n n o r ssa c O2 F fl ms h v e n d p st y a lr s nc s r y ep r l ss p o e s S C1 y o y i r c s . n 4 5 a d NH 4 r s d a i o r e c m p u d a d f r F d p n, r s e— O n H2 we e u e s tn s u c o o n n o o i g e p c F

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晶向对 S O2F透明导电玻璃特性的影响 n:*

羊亿卜，罗友良， 敏何胜黄芳黄素梅 刘，,,,. 1湖南师范大学物理与信息科学学院，长沙 4 08; 1 0 1、 2华东师范大学纳光电集成与先进装备教育部工程研究中心， .上海 2 0 6, 002

摘要：本

文利用超声喷雾法制备了 SO: n zF透明导电薄膜，n 1 H O与 N S C 5 z H F分别用作锡源与氟掺杂，玻璃衬底温度控制在 30。X射线衍射仪、 6℃扫描电镜、紫外可见分光光度计与四探针仪分别用于表征样品的晶体结构、面形貌、表透光率与面电阻。研究结果表明：超声喷雾沉积的 S O: n F薄膜主要为四方晶系的多晶薄膜，且随着沉积条件的改变， ( 1 )并在 10、

(2 ) 20晶向出现不同程度的择优取向，其中在 (0 ) 2 0晶向上择优取向生长的薄膜面电阻明显低于 ( 1 )向， 10晶最低可达到 5a /口，所有样品透光率都较高， 4 o 0 0n在 5~10 m范围内的平均透光率可达到 8 49。 0 0

关键词：n 2F超声喷雾法； SO:;择优取向；率；电阻透光面

中图分类号： N 0 . T 14 3

文献标识码： A

文章编号：0 59 9 ( 0 8 0—2 30 1 0 -4 0 2 0 ) 10 3 -3

Tr n p r n c n u t n o ie ( a s ae t o d ci xd o TCO ) fl s i ms c sI u h a TO,S O2 n,Cd S O4 t . d e t n,Z O 2 n,e c, u o i i c e s d tl y n a i u e i e . h v e t n r a e u i t i v ro s d v c s s i a e r— c i e d t e to n t e p e a a i n a d p o— ev d wi e a t n i n o h r p r to n r pe te E r is一.

t e TCO s o l h v a i h r n mi so h h u d a e h g t a s s i n, l w o

s e tr ss a c n utb es ra em o p oo y h e e it n ea das i l u f c r h lg . aCo a e i o h r TCO i s S O2 F fl s mp r d w t h te fm, n: i l m

( TO) wi e m u h mo e a ta tv wig t t F l b c r tr cie o n o is l sr n e e h nc l n h m ia t bl y to g rm c a ia d c e c lsa i t . a iVa i u e h i u s a d c e ia o r e a e ro s t c n q e n h m

c l s u c s h v

I o t fd v c s u h a h n fl s— n m s e i e .s c st i—i o m o

l r c ls o t e lt p n ld s l y d v c s TCO a e l r o h r fa a e ip a e i e,

fl ss r e sa s b taem ae il ra n o i e v d a u s rt t ra sa wid w m oly r I l w s p o o s t a s t r u h t e f m s a e . ta l o h t n o p s h o g h i l a d s r e so eo h l c r d s I h sr s e t n e v sa n f ee e t o e . n t i e p c, t

b e x l rd t e o i S 02 F t i i . As a e n e po e o d p st n: h n f ms l sm p etc nq e a d i c n b a rc t d o i i l e h i u n t a e fb ia e n a bg s ae c l,u ta o i p a y o y i r c s a e n l s n c s r y p r l ss p o e s h s b e r

收稿日期：0 70—0 2 0—43基金项目：e k o eg me t Se Ac n wl e ns d

作者简介：羊

￣ 1 7~,, L(9 4)男副教授，士，博主要从事薄膜太阳能电池研究，a g i u n .d .n y n y@h n u eu c.

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