2010年版半导体、光伏产业用石墨制品行业及市场调研报告

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2010 年版半导体、 光伏产业用石墨制品行业 及市场调研报告
目录： 1. 概述 1.1 两大类别的石墨 1.2 石墨在工业领域的广泛应用 1.3 石墨在半导体、光伏产业领域的应用 1.3.1 石墨制品的半导体应用市场概况 1.3.2 石墨制品的太阳电池应用市场概况 1.3.3 炭-炭纤维复合材料在半导体、光伏产业领域的应用 2. 半导体、光伏产业用石墨制品概述 2.1 石墨的结构特性 2.2 石墨的主要物理特性 2.3 半导体、光伏产业用石墨制品的主要原料来源 2.4 半导体、光伏产业用石墨制品的主要特性 3. 半导体、光伏产业用石墨制品的生产技术情况 3.1 半导体、光伏产业用石墨材料的生产过程简述 3.2 半导体工业用碳石墨生产中的主要工艺环节 3.2.1 原料选择 3.2.2 磨粉、筛分及配料 3.2.3 混捏 3.2.4 成型 3.2.5 焙烧及浸渍 3.2.6 石墨化 3.3 等静压石墨的成型生产技术 3.3.1 等静压石墨的基本概念 3.3.2 等静压成型用的主要设备 3.3.3 等静压成型的工艺操作 3.4 等静压石墨的特性 3.4.1 等静压石墨主要特性的概述 3.4.2 各向同性 3.4.3 体积密度的均一性
3.4.4 可以制造大规格制品 3.4.5 等静压石墨的主要性能指标 3.4.6 各向同性石墨与各向异性石墨的性能比较 4．国外等静压石墨的生产、技术的发展 4.1 概述 4.2 美国 4.3 德国 4.4 法国 4.5 欧洲其它国家 4.6 日本 4.6.1 日本等静压各向同性石墨生产、技术的发展特点 4.6.2 日本等静压各向同性石墨主要生产企业概况 5．国内等静压石墨的生产、技术的发展 5.1 概述 5.2 国内等静压各向同性石墨技术发展 5.3 国内等静压石墨的生产情况 5.3.1 国内等静压石墨的生产能力的变化发展 5.3.2 国内四种类别的等静压石墨企业 5.3.3 外资企业在我国投建生产厂家的情况 5.3.4 国内等静压石墨生产用设备及原材料情况 5.4 国内等静压石墨主要生产企业情况调查 5.4.1 概述 5.4.2 上海东洋炭素有限公司 5.4.3 上海碳素有限公司、上海新型石墨材料有限公司 ┄┄ 5.4.15 河南省特种热工炉材有限公司 5.4.16 雅安恒圣高纯石墨科技有限责任公司 6. 石墨制品及制品在半导体工业、光伏产业中的应用情况 6.1 概述 6.2 在单晶炉热场中的应用 6.2.1 单晶炉结构、工作原理 6.2.2 石墨制品在单晶炉热场中应用的品种 6.2.3 单晶硅炉热场用石墨
制品的主要特性要求 6.2.4 单晶硅炉热场用石墨制品的性能指标 6.2.5 国内供应单晶硅炉热场用石墨制品的主要厂家 6.2.6 国内单晶硅炉热场用石墨制品市场需求的分析 6.3 在半导体工业其它方面的应用 6.3.1 半导体硅片外延用石墨基座 6.3.1.1 半导体硅片外延的加工过程

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及外延反应器装置 6.3.1.2 外延反应器中的石墨基座的作用、种类 6.3.1.3 对石墨基座的性能要求
6.3.2 切割单晶硅棒用碳石墨垫 6.3.3 PECVD 用石墨晶圆托盘 6.3.4 区熔半导体材料用石墨舟皿 6.3.5 沉积高纯度多晶硅棒用石墨电极 6.4 石墨材料在铸锭多晶硅制造中的应用 6.4.1 铸锭多晶硅 6.4.2 多晶硅铸锭炉的结构组成 6.4.3 石墨材料在多晶硅铸锭炉中的应用 7. 石墨制品的单晶硅制造领域的应用市场情况 7.1 国内单晶硅行业的生产现状 7.2 国内单晶硅企业情况概述 7.3 国内半导体用单晶硅主要生产厂家情况 7.3.1 有研半导体材料股份有限公司 7.3.2 洛阳单晶硅有限责任公司 ┄┄ 7.3.10 无锡华润华晶微电子有限公司 7.3.11 陕西华山半导体材料厂 7.4 国内太阳电池用单晶硅主要生产厂家情况 7.4.1 晶龙实业集团 7.4.2 锦州阳光能源有限公司（锦州 Solargiga 集团） ┄┄ 7.4.14 西安隆基硅材料有限公司 7.4.15 上海九晶电子材料股份有限公司 7.5 国内单晶炉生产企业情况 8.石墨制品的太阳电池用铸锭多晶硅制造领域的应用市场情况 8.1 境外铸造多晶硅生产状况概述 8.1.1 Ersol ┄┄ 8.1.6 绿能科技股份有限公司 8.1.7 Nexolon 8.2 国内铸锭多晶硅生产情况 8.3 国内铸锭多晶硅主要生产企业情况 8.3.1 江西赛维 LDK 太阳能高科技有限公司 8.3.2 江苏林洋新能源有限公司 ┄┄ 8.3.11 江苏宝佳太阳能发展有限公司 8.4 多晶硅铸锭炉国内外市场现状及发展 8.4.1 国内外多晶硅铸锭炉生产概况 8.4.2 国内外硅铸锭炉制造厂家的现状 8.4.2.1 国外企业 8.4.2.2 国内企业
报告中图、表目录： 图 1-1 石墨的应用领域例 图 1-2 石墨的应用产品例 图 2-1 石墨的晶体结构 图 2-2 人造石墨主要物理、机械性能随温度变化的情况 图 3-1 半导体工业用碳石墨的生产流程 图 3-2 日本某石墨企业的半导体工业用碳石墨的生产工艺流程 图 3-3 四种不同的成型工艺路线的碳石墨的生产工艺流程 图 3-4 高纯石墨生产中的三种成型工艺方法 图 3-5 等静压罐构造原理图 图 3-6 等静压石墨生产、制造的简要工艺路线框图 图 3-7 等静压生产工艺流程图 图 3-8 石墨制品成型加工的压制方法与制品的体积密度示意图 图 4-1 2008 年世界各个国家、地区的等静压碳石墨材料年生产能力 图 5-1 国外企业等静压各向同性高纯石墨制品在中国内地的市场份额统计 图 6-1 CZ 法生产单晶硅生产工艺路线图 图 6
-2 CZ 法生产单晶硅生产过程 图 6-3 CZ 法单晶硅炉室的结构 图 6-4 碳石墨材料在单晶炉石墨热场应用情况 图 6-5 在 CZ 单晶炉中主要应用的石墨制品 图 6-6 直拉单晶炉用石墨坩埚（托碗） 图 6-7 碳纤维增强碳复合材料制出的坩埚 图 6-8 单晶硅炉用石墨坩埚结

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构图 图 6-9 单晶硅炉用石墨加热器工作状态图 图 6-10 单晶硅炉用石墨加热器 图 6-11 硅气相外延加工的设备图 图 6-12 外延反应器的三种基座形式 图 6-13 扁平式外延反应器进行外延加工的情景 图 6-14 外延反应器用石墨基座的产品 图 6-15 单晶棒切割加工及碳石墨垫应用的情况 图 6-16 切割单晶棒用碳石墨垫产品 图 6-17 PECVD 石墨晶圆托盘 图 6-18 区熔半导体材料用石墨舟皿产品 图 6-19 沉积高纯度多晶硅棒用石墨电极产品及应用 图 6-20 两种工艺渠道生产、供应硅太阳电池所用单晶硅片流程 图 6-21 太阳能电池制造的典型工艺流程 图 6-22 多晶硅片加工流程 图 6-23 铸锭多晶硅产品 图 6-24 GT 定向生长多晶铸锭炉 图 6-25 铸锭多晶硅生产设备内部结构示意图 图 6-26 多晶硅铸锭炉使用的石墨材料的部位及功效 图 6-27 在多晶硅铸锭炉反应热场中采用的石墨材料 图 6-28 石墨加热器基本结构及其所使用的高纯石墨加热材料 图 8-1 2001～2008 年国内晶体硅锭产量
图 8-2 2005～2008 年国内铸造多晶硅锭产量及预估 表 2-1 石墨的主要物理特性 表 3-1 电子级等静压石墨的技术性能质量指标 表 3-2 电子级等静压石墨在加工成形为晶体生长热场部件后参考技术性能指标 表 3-3 各向同性石墨与各向异性石墨的特性比较 表 4-1 世界主要生产等静压碳石墨材料的主要生产厂家 表 4-2 美国主要公司各向同性石墨产品型号与性能 表 4-3 西格里集团半导体、光伏产业用石墨材料的型号与性能 表 4-4 西格里集团半导体、光伏产业用部分石墨材料规格尺寸表 表 4-5 西格里石墨制品的 SIC 涂层纯度指标 表 4-6 法国罗兰碳素公司的各向同性石墨产品型号与性能 表 4-7 俄罗斯、波兰碳素公司的各向同性石墨产品型号与性能 表 4-8 日本东洋碳素公司等静压各向同性石墨制品技术性能指标 表 4-9 日本东洋碳素公司等静压石墨制品不纯物质（杂质）分析例 表 4-10 日本东海碳素株式会各向同性石墨的理化性能 表 4-11 日本碳素株式会各向同性石墨的理化性能 表 4-12 日本揖斐川电气工业株式会社各向同性石墨的理化性能 表 4-13 日本东北协和炭素株式会社各向同性石墨的理化性能 表 4-14 日立化成工业株式会社各向同性石墨的理化性能 表 5-1 国内内资的生产企业生产的冷等静压各向同性石墨产品的产品性能指标 表 5-2 世
界及我国等静压各向同性石墨生产能力、实际生产量统计、预测 表 5-3 我国目前等静压石墨生产企业的计划年产能及实际年产量 表 5-4 我国等静压石墨生产企业拥有冷等静压台数及其技术参数情况统计 表 5-5 国内主要可生产等静压各向同性石墨厂家情况 表 5-6 成都炭素有限责任公司等静压石

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墨材料技术性能表 表 5-7 成都炭素有限责任公司等静压石墨产品主要规格 表 5-8 成都市龙泉曙光电碳制品厂等静压高纯石墨产品的品种及主要技术性能 表 5-9 河南省特种热工炉材公司等静压三高石墨品种规格及主要技术性能 表 6-1 碳石墨材料及制品在半导体工业、光伏产业中的应用情况 表 6-2 碳石墨材料在单晶炉中应用的品种及功能 表 6-3 墨托碗、加热器、保温罩的外形尺寸 表 6-4 西格里公司应用于单晶硅炉的石墨制品规格及理化性能指标 表 6-5 东洋碳素株式会社用于单晶硅炉的石墨制品牌号及理化性能指标 表 6-6 烟台市芝罘石墨制品厂用于单晶硅炉的石墨制品型号及理化性能指标 表 6-7 国内主要生产多晶硅锭炉企业主要产品以及与其石墨配件相关的技术参 数 表 7-1 2008 年国内半导体用单晶硅主要生产企业及单晶硅产量规模统计 表 7-2 2008 年国内太阳电池用单晶硅主要生产企业及单晶硅产量规模统计 表 7-3 国内单晶炉主要生产企业情况统计 表 8-1 国内主要铸造多晶硅企业产能（以 2008 年底计）统计 表 8-2 国内外铸锭炉生产企业统计 表 8-3 中电 48 所生产铸锭炉的技术参数 表 8-4 精工科技生产铸锭炉参数统计
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目录： 1. 概述 1.1 两大类别的石墨 1.2 石墨在工业领域的广泛应用 1.3 石墨在半导体、光伏产业领域的应用 1.3.1 石墨制品的半导体应用市场概况 1.3.2 石墨制品的太阳电池应用市场概况 1.3.3 炭-炭纤维复合材料在半导体、光伏产业领域的应用 2. 半导体、光伏产业用石墨制品概述 2.1 石墨的结构特性 2.2 石墨的主要物理特性 2.3 半导体、光伏产业用石墨制品的主要原料来源 2.4 半导体、光伏产业用石墨制品的主要特性 3. 半导体、光伏产业用石墨制品的生产技术情况 3.1 半导体、光伏产业用石墨材料的生产过程简述 3.2 半导体工业用碳石墨生产中的主要工艺环节 3.2.1 原料选择 3.2.2 磨粉、筛分及配料 3.2.3 混捏 3.2.4 成型 3.2.5 焙烧及浸渍 3.2.6 石墨化 3.3 等静压石墨的成型生产技术 3.3.1 等静压石墨的基本概念 3.3.2 等静压成型用的主要设备 3.3.3 等静压成型的工艺操作 3.4 等静压石墨的特性 3.4.1 等静压石墨主要特性的概述 3.4.2 各向同性 3.4.3
体积密度的均一性
3.4.4 可以制造大规格制品 3.4.5 等静压石墨的主要性能指标 3.4.6 各向同性石墨与各向异性石墨的性能比较 4．国外等静压石墨的生产、技术的发展 4.1 概述 4.2 美国 4.3 德国 4.4 法国 4.5 欧洲其它国家 4.6 日本 4.6.1 日本

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等静压各向同性石墨生产、技术的发展特点 4.6.2 日本等静压各向同性石墨主要生产企业概况 5．国内等静压石墨的生产、技术的发展 5.1 概述 5.2 国内等静压各向同性石墨技术发展 5.3 国内等静压石墨的生产情况 5.3.1 国内等静压石墨的生产能力的变化发展 5.3.2 国内四种类别的等静压石墨企业 5.3.3 外资企业在我国投建生产厂家的情况 5.3.4 国内等静压石墨生产用设备及原材料情况 5.4 国内等静压石墨主要生产企业情况调查 5.4.1 概述 5.4.2 上海东洋炭素有限公司 5.4.3 上海碳素有限公司、上海新型石墨材料有限公司 ┄┄ 5.4.15 河南省特种热工炉材有限公司 5.4.16 雅安恒圣高纯石墨科技有限责任公司 6. 石墨制品及制品在半导体工业、光伏产业中的应用情况 6.1 概述 6.2 在单晶炉热场中的应用 6.2.1 单晶炉结构、工作原理 6.2.2 石墨制品在单晶炉热场中应用的品种 6.2.3 单晶硅炉热场用石墨制品的主要特性要求 6.2.4 单晶硅炉热场用石墨制品的性能指标 6.2.5 国内供应单晶硅炉热场用石墨制品的主要厂家 6.2.6 国内单晶硅炉热场用石墨制品市场需求的分析 6.3 在半导体工业其它方面的应用 6.3.1 半导体硅片外延用石墨基座 6.3.1.1 半导体硅片外延的加工过程及外延反应器装置 6.3.1.2 外延反应器中的石墨基座的作用、种类 6.3.1.3 对石墨基座的性能要求
6.3.2 切割单晶硅棒用碳石墨垫 6.3.3 PECVD 用石墨晶圆托盘 6.3.4 区熔半导体材料用石墨舟皿 6.3.5 沉积高纯度多晶硅棒用石墨电极 6.4 石墨材料在铸锭多晶硅制造中的应用 6.4.1 铸锭多晶硅 6.4.2 多晶硅铸锭炉的结构组成 6.4.3 石墨材料在多晶硅铸锭炉中的应用 7. 石墨制品的单晶硅制造领域的应用市场情况 7.1 国内单晶硅行业的生产现状 7.2 国内单晶硅企业情况概述 7.3 国内半导体用单晶硅主要生产厂家情况 7.3.1 有研半导体材料股份有限公司 7.3.2 洛阳单晶硅有限责任公司 ┄┄ 7.3.10 无锡华润华晶微电子有限公司 7.3.11 陕西华山半导体材料厂 7.4 国内太阳电池用单晶硅主要生产厂家情况 7.4.1 晶龙实业集团 7.4.2 锦州阳光能源有限公司（锦州 Solargiga 集团） ┄┄ 7.4.14 西安隆基硅材料有限公司 7.4.15 上海九晶电子材料股份有限公司 7.5 国内单晶炉生产企业情况 8.石墨制品的太阳电池用铸锭多晶硅制造领域的应用市场情况 8.1 境外铸造多晶硅生产状况概述 8.1.1 Ersol ┄┄ 8.1.6 绿能科技股份有限公司 8.1
.7 Nexolon 8.2 国内铸锭多晶硅生产情况 8.3 国内铸锭多晶硅主要生产企业情况 8.3.1 江西赛维 LDK 太阳能高科技有限公司 8.3.2 江苏林洋新能源有限公司 ┄┄ 8.3.11 江苏宝佳太阳能发展有限公司 8.4 多晶硅铸锭炉国内外市场现状及发展 8.4.1 国内

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外多晶硅铸锭炉生产概况 8.4.2 国内外硅铸锭炉制造厂家的现状 8.4.2.1 国外企业 8.4.2.2 国内企业
报告中图、表目录： 图 1-1 石墨的应用领域例 图 1-2 石墨的应用产品例 图 2-1 石墨的晶体结构 图 2-2 人造石墨主要物理、机械性能随温度变化的情况 图 3-1 半导体工业用碳石墨的生产流程 图 3-2 日本某石墨企业的半导体工业用碳石墨的生产工艺流程 图 3-3 四种不同的成型工艺路线的碳石墨的生产工艺流程 图 3-4 高纯石墨生产中的三种成型工艺方法 图 3-5 等静压罐构造原理图 图 3-6 等静压石墨生产、制造的简要工艺路线框图 图 3-7 等静压生产工艺流程图 图 3-8 石墨制品成型加工的压制方法与制品的体积密度示意图 图 4-1 2008 年世界各个国家、地区的等静压碳石墨材料年生产能力 图 5-1 国外企业等静压各向同性高纯石墨制品在中国内地的市场份额统计 图 6-1 CZ 法生产单晶硅生产工艺路线图 图 6-2 CZ 法生产单晶硅生产过程 图 6-3 CZ 法单晶硅炉室的结构 图 6-4 碳石墨材料在单晶炉石墨热场应用情况 图 6-5 在 CZ 单晶炉中主要应用的石墨制品 图 6-6 直拉单晶炉用石墨坩埚（托碗） 图 6-7 碳纤维增强碳复合材料制出的坩埚 图 6-8 单晶硅炉用石墨坩埚结构图 图 6-9 单晶硅炉用石墨加热器工作状态图 图 6-10 单晶硅炉用石墨加热器 图 6-11 硅气相外延加工的设备图 图 6-12 外延反应器的三种基座形式 图 6-13 扁平式外延反应器进行外延加工的情景 图 6-14 外延反应器用石墨基座的产品 图 6-15 单晶棒切割加工及碳石墨垫应用的情况 图 6-16 切割单晶棒用碳石墨垫产品 图 6-17 PECVD 石墨晶圆托盘 图 6-18 区熔半导体材料用石墨舟皿产品 图 6-19 沉积高纯度多晶硅棒用石墨电极产品及应用 图 6-20 两种工艺渠道生产、供应硅太阳电池所用单晶硅片流程 图 6-21 太阳能电池制造的典型工艺流程 图 6-22 多晶硅片加工流程 图 6-23 铸锭多晶硅产品 图 6-24 GT 定向生长多晶铸锭炉 图 6-25 铸锭多晶硅生产设备内部结构示意图 图 6-26 多晶硅铸锭炉使用的石墨材料的部位及功效 图 6-27 在多晶硅铸锭炉反应热场中采用的石墨材料 图 6-28 石墨加热器基本结构及其所使用的高纯石墨加热材料 图 8-1 2001～2008 年国内晶体硅锭产量
图 8-2 2005～2008 年国内铸造多晶硅锭产量及预估 表 2-1 石墨的主要物理特性 表 3-1 电子级等静
压石墨的技术性能质量指标 表 3-2 电子级等静压石墨在加工成形为晶体生长热场部件后参考技术性能指标 表 3-3 各向同性石墨与各向异性石墨的特性比较 表 4-1 世界主要生产等静压碳石墨材料的主要生产厂家 表 4-2 美国主要公司各向同性石墨产品型号与性能 表 4-3 西格里集团半导体

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、光伏产业用石墨材料的型号与性能 表 4-4 西格里集团半导体、光伏产业用部分石墨材料规格尺寸表 表 4-5 西格里石墨制品的 SIC 涂层纯度指标 表 4-6 法国罗兰碳素公司的各向同性石墨产品型号与性能 表 4-7 俄罗斯、波兰碳素公司的各向同性石墨产品型号与性能 表 4-8 日本东洋碳素公司等静压各向同性石墨制品技术性能指标 表 4-9 日本东洋碳素公司等静压石墨制品不纯物质（杂质）分析例 表 4-10 日本东海碳素株式会各向同性石墨的理化性能 表 4-11 日本碳素株式会各向同性石墨的理化性能 表 4-12 日本揖斐川电气工业株式会社各向同性石墨的理化性能 表 4-13 日本东北协和炭素株式会社各向同性石墨的理化性能 表 4-14 日立化成工业株式会社各向同性石墨的理化性能 表 5-1 国内内资的生产企业生产的冷等静压各向同性石墨产品的产品性能指标 表 5-2 世界及我国等静压各向同性石墨生产能力、实际生产量统计、预测 表 5-3 我国目前等静压石墨生产企业的计划年产能及实际年产量 表 5-4 我国等静压石墨生产企业拥有冷等静压台数及其技术参数情况统计 表 5-5 国内主要可生产等静压各向同性石墨厂家情况 表 5-6 成都炭素有限责任公司等静压石墨材料技术性能表 表 5-7 成都炭素有限责任公司等静压石墨产品主要规格 表 5-8 成都市龙泉曙光电碳制品厂等静压高纯石墨产品的品种及主要技术性能 表 5-9 河南省特种热工炉材公司等静压三高石墨品种规格及主要技术性能 表 6-1 碳石墨材料及制品在半导体工业、光伏产业中的应用情况 表 6-2 碳石墨材料在单晶炉中应用的品种及功能 表 6-3 墨托碗、加热器、保温罩的外形尺寸 表 6-4 西格里公司应用于单晶硅炉的石墨制品规格及理化性能指标 表 6-5 东洋碳素株式会社用于单晶硅炉的石墨制品牌号及理化性能指标 表 6-6 烟台市芝罘石墨制品厂用于单晶硅炉的石墨制品型号及理化性能指标 表 6-7 国内主要生产多晶硅锭炉企业主要产品以及与其石墨配件相关的技术参 数 表 7-1 2008 年国内半导体用单晶硅主要生产企业及单晶硅产量规模统计 表 7-2 2008 年国内太阳电池用单
晶硅主要生产企业及单晶硅产量规模统计 表 7-3 国内单晶炉主要生产企业情况统计 表 8-1 国内主要铸造多晶硅企业产能（以 2008 年底计）统计 表 8-2 国内外铸锭炉生产企业统计 表 8-3 中电 48 所生产铸锭炉的技术参数 表 8-4 精工科技生产铸锭炉参数统计

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