国外光学薄膜的应用和真空镀膜工艺

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光学技木 ( 1 9 9 4年第 l期 )

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国外光学薄膜的应用和真空镀膜工艺(兵器工业总公司 2 1 0所

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北京 1 0 0 0 8 I )

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摘要：本文概述了国外光学薄膜的典型应用和光学薄膜制造工艺的发展，着重阐述了国外的现代真空镀膜工艺

关键调： :童璺}琶裹巷坡萋Appl i c a t i o n of o pt i c a l f i l m an d v a c u um c o at i ng

t e c h no l o g y i n f or e i g n c o unt r ySo n g J i x i n gAb s t r a c t: Th e t y p i c a l a p p l i c a t i o ns o f o p t i c a l f i l m i n f o r e i g n c o u n t r i e s a n d t h e d e v e l o pme n t o f l T l a n u—

f a c t u r i n g t e c h no l o g y o f o p t i c a l f i l m a r e r e l a t e d i n b r i e f, i n p a r t i c u l a r, t h e mo d e r n v a c u um c o a t i n g t e c h no l—o gy O±f o r e i g n c o u n t r i e s i s e x p o u n d e d . Ke y wo r d s: o p t i c a l f i l m,c o a t i n g t e c hn o l o g y一

、

光学薄膜的应用和制造工艺的发展概

膜或多层增透膜 j _。照相机的物镜，摄影机的镜头，望远镜的透镜以及显微镜、测距仪和潜望镜的棱镜和透镜都必须镀增透膜 _【。用多层介质膜组成的分光镜，可把白光分成红、绿和蓝

况

1 .国外光学薄膜的应用概述光学薄膜可分光透射，分光反射，分光吸收以及改变光的偏振状态或相位，用作各种反射

三原色，用于彩色电视和彩色印刷等多方面0 _ _ ]。掺锡的氧化铟光学薄膜，可反射红外线，透过可见光，用作微渡烤炉窗口玻璃上的透

膜，增透膜

和干涉滤光片“ 。它们赋予光学元件各种使用性能，对光学仪器的质量起着重要或决定性的作用。例如，法国爱琴厂自称，其生产的 4 2 连续变焦镜头具有世界上最好的光学质量主要原因之一，就是应用了一种新设计

明隔热膜。这种薄膜淀积在灯泡壁上，可使灯泡照明度变好和节约电能。

在工业上，光学薄膜广泛地应用于各种产品。在激光技术中的主要应用是激光反射镜的反射膜，激光材料的增透膜，倍频及参量放大器

薄膜和薄膜偏振镜等。光盘上真空淀积碲、 铋、硒等金属膜，用作光的储存介质，其存储的

信息量是同面禚磁盘的 1 0 0倍0: r。光谱学中用酊氯化钠租碘化铯等卤化物晶体窗口或透上。因此，光学膜技术已发展成为- -I ' 1独立的技术，一些国家具有独立的研究所和生产厂口]。目 前，光学薄膜技术从理论、计算、设计、测量和工艺已形成完整的体系，广泛地应用于日常生活、 工业、农业、建筑、交通运输、医学、天文学、军事镜，极易潮解。用等离子聚合法将单体氟化物在其上聚合成 1 . u n的有机薄膜保护层， r使碘化铯的寿命可达几百个小，无保护的几分钟就破

坏。 _]。用 Z n S/ Mg F 和T i O / s i o 等多层全介质膜制的冷光镜反射可见光，透过红外光，用

和宇航等宽广的领域。 在日常生活中，镜子是用化学法在玻璃背面镀银的一种背面镜。眼镜片用真空法镀着色3 2

于放映机、幻灯机、复印机以及电影和电概摄影用的大功率泛光灯上。反射红外线、透过可见光的薄膜制热反射镜，常和冷光镜配合使用，屏蔽

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热辐射。 。黑铬、黑镍、钼和钨等金属膜，氧化锢、氧化锡、硅和锗等半导体膜， C r/ C r O 、 Au/ Mg O和 Ni/ AI O。等金属/陶瓷膜，可制选择吸收太阳能的材料。在玻璃上真空淀积铑、

滤光片和其它部件组成的红外探测器和红外器件.可探测发出大量热能的导弹和飞机等军事目标的行踪。这些器件也用于红外制导导

弹。热成

像仪光学器件上镀制的硬碳膜和金刚石膜 .耐风沙和雨水。坦克用激光测距仪的镜头，需镀增透膜和防霜导电金属膜]”]。透明的导电薄膜用于战斗机上防雷达。 在宇航技术方面，科学卫星表面镀铝和氧化硅膜.可使卫星的温度控制在 l 0~4 O℃范围。硅太阳能电池是空间飞行器的主要能源。通

钯、钨、铬和镍/铬等金属制的中性密度滤光片 . 用于各种测量和分折仪器。用真空蒸发和溅射制的氧化铟、氧化锡、氧化镉和金等材料制的透明导电薄膜 .用于电子表与电子计算器的显示以及仪表的抗静电镀层等用途。为了装饰和装璜，玻璃和塑料等廉价材料制的消费品和汽车零件等工业制品镀金、银、铜和代替金的 Cu AI 和 Cu Z n合金。用镀金属或介质膜的透明玻璃

常在太阳能电池的熔石英盖片上淀积热性能控制滤光片。该滤光片只允许透过可转变成电能的太阳可见光和近红外区的辐射，反射有害的红外区热量]。 2 .光学薄膜制造工艺的发展概况

或塑料制成压制物，然后切割，可制人造宝石。

在农业上 .美国研究了促进植物生长的热反射镜型农用特殊隔热薄膜。炎热的夏日，一品红在只透过可见光，反射红外光的隔热膜暖房

化学镀膜最早用于在光学元件表面制备保护膜一。随后， 1 8 1 7年， F r a u n h o f e r在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃，偶然第一次获得减反射膜， 1 8 3 5年以前有人用化学湿选法淀积了银镜膜。它们是最先在世界上制备的光学薄膜。后来，人们在化学溶液和蒸气中镀制各种光薄膜。 5 O年代，除大块窗玻璃增透膜的一 …… 此处隐藏：10160字，全部文档内容请下载后查看。喜欢就下载吧 ……