材料制备新技术(许春香) 第七章 纳米材料制备技术

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第7章 纳米材料制备技术 章

化学蒸发凝聚( 图7-1化学蒸发凝聚(CVC)装置示意图 化学蒸发凝聚 )

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第7章 纳米材料制备技术 章1 2

图7-2 用溅射法制备纳米微粒的原理 1-Al板 2-蒸发材料 板 蒸发材料

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图7-3 喷雾干燥装置的模型

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图7-4 喷雾焙烧装置的示意图

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图7-5 球磨法典型工艺示意图

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第7章 纳米材料制备技术 章原料 溶剂 称量 混合 称量 原料

胶水、干燥

煅烧

粉碎

造粒、整粒

烧结用粉体

图7-6 固体反应法制备粉体工艺流程图

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(a)多层纳米碳管 (b)单层纳米碳管 多层纳米碳管 单层纳米碳管 图7-7 纳米碳管结构示意图

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图7-8 纳米团簇催化制备纳米线方案示意图

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图7-9 Si纳米线生长示意 纳米线生长示意 Tl-恒温区温度；T2-FeSi2液滴的凝固温度 -恒温区温度； - 液滴的凝固温度

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图7-10 薄膜制备的物理方 法

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图7-11 薄膜制备的化学方法

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图7-12 磁控溅射原理图

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第7章 纳米材料制备技术 章3 4 2 1 5

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图7-13 溅射法制备纳米镶嵌膜的实验装置 1-直流(DC)功率；2-Cu靶； 3-基片； 直流( )功率； 基片； 直流 靶 基片 4-基片座；5-聚四氟乙烯靶(PTFE); 射频(RF)功率 基片座； 聚四氟乙烯靶 聚四氟乙烯靶( );6-射频 基片座 ); 射频( )

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图7-14 常压化学气相沉积设备的示意1—混气室，2—转子流量计；3—步进电机控制仪；4—真空压力表；5—不锈钢管喷杆； 混气室， 转子流量计； 步进电机控制仪； 真空压力表； 不锈钢管喷杆； 混气室 转子流量计 步进电机控制仪 真空压力表 不锈钢管喷杆 6—喷头；7—基板；8—石墨基座；9—石英管反应室；10—机械泵；11—WZK温控仪； 喷头； 基板； 石墨基座； 石英管反应室； 机械泵； 温控仪； 喷头 基板 石墨基座 石英管反应室 机械泵 温控仪 12—电阻丝加热源；13—保温层陶瓷管；14—密封铜套 电阻丝加热源； 保温层陶瓷管； 电阻丝加热源 保温层陶瓷管 密封铜套

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图7-15 等离子体化学气相沉积装置示意

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图7-16 惰性气体蒸发原位加压装置