真空紫外光谱仪操作说明书(7)

仪器操作说明

并接好规管的连接电缆；

2）接通仪器的电源，予热１０分钟后，将热偶计的波段开关旋钮指向加热位置，调节电流旋钮使表头上的指示电流为规管说明书上注明的电流值（表头上最下方的刻度），一分钟后将波段旋钮转到测量位置上，可以进行低真空的测量（读中间刻度的读数）；

３）当系统的真空度已达到0.１3Pa以下时，热偶计无法测量，再开启电离计予热十分钟后，将〈发射／零点／测量〉开关放在发射位置上，〈去气／测量〉开关放在〈测量〉位置，接通〈规管灯丝〉开关，调节发射电流旋钮，使发射电流为５毫安。

４）将〈发射／零点／测量〉开关放在〈零点〉位置，调节〈零点调节〉旋钮，使表针指零。

５）将量程的倍加器开关放在〈校准〉位置，〈发射／零点／测量〉开关放在〈测量〉位置，调节〈校准〉旋钮，使电表指针指满刻度１０处。

６）

度。

７）〈去气／测量〉开关一般放在〈测量〉位置，在电离规管需要将量程的倍加器开关移到１０-2~１0-5即可以测量系统的真空去气时，按步骤3）将发射流调整为5毫安，然后将〈去气/测量〉开关放在（去气）位置，将〈发射/零点/测量〉开关放在（零点）位置即可去气。去气时间不宜过长一般约10~15分钟左右，去气时电离规管的栅极红热，在真空度低于0.013Pa时，不可进行去气。

８）当真空度低于0.13Pa时，不能接通电离计，电离规管暂时不