真空紫外光谱仪操作说明书(4)

仪器操作说明

3.3打开主真空室的真空阀F1（把手向左）和机械泵的真空阀F4（向左旋）。

3.4关闭主真空室的充气阀和面板上的充气阀F2（向右旋紧），和灯室的入射插板阀及灯室阀F3（向右旋紧）。

3.5按机械泵起启动按钮S12，指示灯（4）、（5）、（6）亮，机械泵开始工作。

3.6预抽真空5分钟后，检查主真空室的三个锁紧的螺栓，如果有松动应继续旋紧后开启复合真空计的电源，按真空计操作说明加热灯丝、调整发射电流、调整零点，将仪器调整好后等待测量。

3.7按步进电机控制板电源按钮S16，指示灯（20）、（21）、（22）亮，再分别打开其他仪器的电源。

3.8预抽真空15分后，打开真空计按其操作说明测量真空度直至达到〈13Pa时，缓慢打开主真空室与灯室之间的插板阀和灯室阀门F3（向左旋转），这时真空度略有下降，再继续抽几分钟后真空度又慢慢地上升达到12Pa~10Pa时，可以按测量方法打开灯的电源开关S15或者是氘灯开关（应先打开氘灯罩上的风扇），当灯点亮几分钟待发光稳定后继续下步操作。

3.9按测量方法选择手工操作或计算机控制电机驱动光扫描机构，调整真空室的光入射和出射狭缝（由小到大缓慢地开），并按操作说明调整光电倍增管的输出电压，转动手轮变换不同的波长进行测量。

3.10如果被测光的波长〈200nm时，应在真空度高于10Pa后，按S14按钮并调节旋钮WR，使电炉的电流表A的指示为适当值，开启