ESD作业规范(8)

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有最新的数据显示ionizer提供了保护可不那么频繁进行离子平衡调节).如果此ionizer有”失去平衡”显示器(蜂鸣器或灯)，test可以一月执行一次,任何情况下,ionizer离子至少一个月按厂商规格test一次(一般来说小于50volts).[E11],[F12], [H11],[I13]

ionizer的Performance可通过以下几种方test.

一个充电的plate(使用两极)哀减率,和一floating(偏移)plate的voltage测量(平衡)

用决定需要的离子currents达到要求的voltage哀减率和voltage平衡的正负离子currents及相关数据.

D:空气ionizer应当编号test data应当按编号记灵[E11],[F12],[H11],[I13].

E:电子ionizer的tips应当cleans或更换(按厂商建议日期)

F:核ionizer同位素(如:Polonium-210)需要每年更换或按厂商推荐日期.

8.9:座位要求

SSWA中的座位应当用静电散逸材料做,垫子,靠背,扶手对地的RES应持续在1-1000MΩ内(不论湿度如何),那为Audit极限(见EOS/ESD.DS12.1-1995)

9:SSWA要求

静电安全工作台(sec8中所述)之代替就是SSWA.SSWA可小到一个工作台,大到一栋楼.

A:所有sec8中静电安全工作台的要求(除标示之外)适用,在很大一遍区或指定标识为”静电安全”的情况下,单个的小workstation标识可不要.

B:如果静电安全区超出了一个工作台,那么其边界应明确注明,所有入口应有ESD警示语和(黄色)ESD警示线.[E6],[F7],[H6],[I7]

C:禁止非静电安全desk,区域或超过100V可充电的item在SSWA内.除非特别注明的一小块地方被标识出来供非静电安全item用.但如果人们离开此小块地方,如地板线,应显示出已焦入SSWA区.

10:人员接地要求

员工在做工作中正常的运动时如:走,弯腰,起身常常会导至静电充电,为了保ESD敏感item不被损坏,此静电充电必须要被释放掉,静电环和footwear是最常见手段.专门有一章对此作介绍,ionization是又一种少见的方法.(见8.8)

每个处理来保护的ESD敏感组件的员工都应接地(通过一个限制电阻) .

10.1:Body Voltage

使用ESD敏感组件的员工的皮肤静电之压最大不超过100V．

10.2:静电环接地

防止损坏device,人员接地主要是通过静电环来实现的,每一个员工如果没其它接地措施的话必须佩戴静电环(见附页)

A:每一个处理敏感的员工,如果不是导电的地板或footwear的话,或使用了导电的地板,椅子和footwear,但员工坐着时必须佩戴静电环。

B:静电环对的电阻应不小于0.5megohm,不大于50megohm.

C:附有签名位置的checklist应贴于附近,以使作每日作符合性记录,也可使用电子手段，具体数据应每日记录.

D:用于verify静电环的instrument应定期maintain且校验.

静电环的感应电阻的monitor应每月验证

一个可接受的持续的monitor必须能够验证wrist strap对GND的阻值的符合性(见附录K) 10.3 footwear grounding

不是所有情况下都用.附录O可帮你选择.当wrist strap不实用(因为工作人员活动空间大,或操作moving machine时footwear才对未protecedt的sensitive item适合,在用情况下应符合以下