能量色散X射线荧光光谱分析及其应用(2)

与其特征谱线的强度之间建立联系，必须通过各种方法进行数据处理。如为了克服元素间的吸收－增强效应，根据检测的不同要求，分别采用经验系数法、理论系数法或基本参数法等。因此，仪器生产厂家是否为用户配备了有效的分析软件，应该是用户在选择时必须考虑的重要条件之一。

是一种基于Ｘ射线特性的可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在Ｘ射线的激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级

号的能量色散Ｘ射线荧光分析仪。

两种方法都是采用Ｘ射线管作为样品的激发源，所不同的是检测的Ｘ射线谱不同。ＷＤＸＲＦ中荧光光谱

Ｘ射线（即Ｘ－荧光，如图２－２所示），通过色散元件（如晶体）被分离成为通过分析次级Ｘ射线的特征物理量来获得元素的信息

。

不连续的波段，然后用气体正比计数器或者闪烁计数器检测；在ＥＤＸＲＦ中，则使用固体检测器例如Ｓｉ（Ｌｉ）或者ＨＰＧＥ检测整个荧光光谱，然后用多道分析器得到能量的信息。两种检测方法的比较如表２－１所示。

３．ＥＤＸＲＦ

的应用

表２－１　ＥＤＸＲＦ和ＷＤＸＲＦ的比较［２］

　　图２－１　　Ｘ

射线产生图

一般说来，现在的ＥＤＸＲＦ能够

２．３．　ＥＤＸＲＦ的工作原理

图２－２　　Ｘ射线荧光（ＸＲＦ）的产生

满足一般分析测试的需求，其误差主要来自于样品。因此需要对样品的制备和处理相当重视。同时ＥＤＸＲＦ作为一种比较分析技术，要求所有进入仪器测试的标准样品和未知样品具有相同的形貌和重现性。典型的样品应该能代表要分析

２００６第０１期

能量色散Ｘ射线荧光分析仪

（ＥＤＸＲＦ）的基本工作原理是［３］：用Ｘ

２．２．Ｘ射线荧光（ＸＲＦ）分析的发展

早期的波长色散型Ｘ射线荧光分析仪（ＷＤＸＲＦ），基本上都是通过晶体衍射进行分光后，由探测器接收

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射线管产生的原级Ｘ射线照射到样品上，所产生的特征Ｘ射线（荧光）直接进入Ｓｉ（Ｌｉ）探测器，便可以据此进行定性和定量分析。可以通过