运用统计分析工具解决质量问题

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防类似现象的再次出现。

成正比；

二、背景及现象描述我们承担着为美国客户进行结型场效应管 ( F T)的加工 JE任务。根据音同，方提供外延美片，我们继续后续工序的加工。 加工完毕后，顾客对硅片上的由管芯进行自动探针交叉测试， 根据测试结果计算成品率。 起初，我们对顾客提供的外延片的进料检验只进行表面目检、 镜检及核对顾客提供的外延质量参数是否在规格之内，没有对外并延参数进行 S C控制但一次质 P量问题引起了我们对该参数的注意，我们将顾客提供的产品的质使量数据也纳入我们的 S c监督体 P系中。某品种的成品率标准是7% (:在达到 7%时，顾客按 0即 0

与夹断电压 Vp的测量中值与目标值的偏差成反比；还与夹

断电压 Vp的不均匀性成反比。 要分析成品率降低的原因，就要从这几方面人手。

三、采用统计分析工具寻找原因1 .初步分析

柏拉图 ( lt )一种比较好 P ao是的统计工具，它可以将多种因素对一件事物的影响以图表的方式清晰地表示出来于是，我们运用柏拉图对各项因素对成品率下降的影响进行分析收集一段时间的的相关数

据后，柏拉图如图 2所示比其照图 1和图 2,从图 2我们可以

看出，一般情况下，能成品率 在功是影响成品率的主要因素。但在 19 9 8年 2月，断电压 央 V的不均匀性指标 Vp - p p￣ V 的影响急剧增大，成为影响成品率的主要因素

10付款 )但在 19 0%, 9 8年 2月， 成品率突然急剧下降 (图 1。见 )成品率的计算公式如下： 成品率=功能成品率 x A (/ ( rre Vp ) (一Vp Vpag t— )× B (晰一Vp ) C 】/ )其中：

因此，们得出结论一：响我影成品率下降的主要原因是夹断电压 Vp的不均匀性，即 V Vp一的急剧增大。 一

功能成品率——器件具有正常设计功能的百分比；V ra g t—夹断电压 Vp

p r e—

在初步确定了夹断电压 V p的不均匀性是造成成品率下降的主要原因后，就要找出是哪遭工

的目标值；一

、

引言

Vp——夹断电压 Vp的测 m量中值； Vp -% Vp——夹断电压 l Vp的不均 匀性指

中科院微电子中心的半导体生产前工艺线在贯彻 IO9 0 S 0 2质 量保证体系中，建立了一套闭环的统计过程控制 (P S C)统，系利

序造成了不均的 Vp值。 2 .进一步分析从关于央断电压 V的理论 p成品牢趋势围

用控制图、工艺能力指数等手段来监视、评价半导体生产过程的 运行状况。时，积极运用统计同还分析工具 (柏拉图、形曲线拟如线音、关性等 )一些质量问题进相对行分析，出问题的根源，以此找并——

A、 C B、

为常数。可见，品成

10 2 10 0 8 06 0

4 02 0 0

率与 3个 -要因 k素有关它与器 件功能的成品率

加强相关参数的 S C控制，预 P以