太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨

时间：2025-07-09

主要介绍太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺

电子工业毫用设备

光刻与刻蚀

太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺探讨陈特超马度 ,巴布 2李健志毛朝斌 ,f .国电子科技集团公司第四十八研究所 .南长沙 4 0 1 1中湖 11 1

2 UA ua a h n能源公司， . E F ji hI a r s印度1 摘要：绍了一种新型等离子体刻蚀机的使用条件，过对各种参数变化的组合实验，到了介通得最佳工艺数据。,用该刻蚀机生产的电池片刻蚀效果好，蚀后经检测， f i 4刻电池片漏电流小，并联电阻大，高了电池片的综合性能指标。提

关键词：离子体，等刻蚀，艺，工实验

中图分类号： M9 05 T 1.

文献标识码： A

文章编号：0 44 0 (0 0 .0 50 10—5 72 1) 60 0 .3 1

S l r CelPr d to Li e i t e Ne Te h l g f oa l o uc i n n n h w c no o y oPl s a Et hi a hi a m c ng M c neCHEN c o Te ha,M a hu Ba, i n hi MA O a b n d bu LIJa z, Ch o i

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2 Mi oo t n t n l LF E, da ) . c slne ai a L Z I i r I r o n n

Absr c:Thi ri l n r u e e tpe o a m a e c ng ma h n’ c ndton fus t r u h a ta t sa tc e i tod c sa n w y fpl s thi c i eS o ii s o e,h o g c m b n to fva i u x e i e t lpa a ee si h d o an t e o tmum t .M a e u e oft e e c o i a i n o ro se p rm n a r m t r t a bti h p i daa k s th— h i c ne p o uc i fb te y sie c r o i n mo e tha o fe t t h d b h x rme t ng ma hi r d ton o a tr lc o r so m n s g od e f c,

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b t r l e la a e c re ta e l s, h n e it n e a e h g n t mp o e t e g n r lp ro m a c at y si e k g u r n r e s s u t ss c r i h a d i i r v h e e a e f r n e e c r ao e b te lc ft a tr sie. h y Ke ywo ds r:Pl s;Et h n a ma c i g;P o e s Ex e i nt r c s; p rme

当石油、炭、燃气等不可再生能源频频告煤天

电池制造技术不断改进以及新的光 .电转换装置的发明。以预见，阳能电池将是太阳辐射能利可太

急，能源问题日益成为制约社会经济发展的瓶颈时，来越多的国家开始实行“越阳光计划”开发太，阳能资源，求经济发展的新动力。国对环境的寻各保护和对再生清洁能源的巨大需求，促使太阳能收稿日期： 0 1 52 2 1——4 0

用的一种比较切实可行的方法，可为人类未来大规模地利用太阳能开辟广阔的前景…。晶体硅太阳能电池工艺中的等离子体刻蚀是将硅片周边的

主要介绍太阳能电池生产线中新型等离子体刻蚀机刻蚀工艺

扩散层去除，硅片两面形成 P结。硅片周边的使 N

效果。最后待电池片完成全部工艺生产工序后进行综合参数测试，检测并联电阻的人小/艾分们情况，据合格要求判定刻蚀效果。根表 1不同功率参数的实验效果

扩散层去除干净与否，可由太阳能电池的漏电流和并联电阻来表征。等离子体刻蚀技术已成为实现此工艺的首选。现有设备的基础上优化工艺，在提升光伏电池性能己成为一种新的精细技术。

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