C_C多层类金刚石薄膜的热稳定性研究(4)

类金刚石薄膜

560真 空 科 学 与 技 术 学 报

表2 退火前后薄膜的磨痕宽度

Materials,2004,13(428):1494-1499

第28卷

Tab.2 Thewidthofweartrackofthemultilayerfilmsbeforeand

afterannealingatdifferenttemperatures

工艺未退火300e退火400e退火

注:n越多表示耐磨性越好

磨痕宽度/mm

0.060.110.32

耐磨性nnnnnn

[2] RobertsonJ.MaterialsScienceandEngineering,2002,37:129

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3 结论

(1)随着退火温度的升高,多层膜的sp3

键含量呈现降低趋势,但降低的幅度非常小。

(2)退火处理后多层膜的硬度变化结果与其结

构变化相一致。多层结构有效地限制了薄膜复合硬度的下降。

(3)退火处理对多层膜的摩擦学性能影响较小。多层膜退火处理前后的结构及性能结果综合表明在400e范围内多层膜具有较高的热稳定性。

参 考 文 献

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