第九讲:真空系统组成元件

发布时间:2021-06-06

第九讲:真空系统组成元件

[简介]: 真空系统是由真空泵、真空测量装置、真空阀门、连接导管以及捕集器、除尘器、真空继电器规头等元件,经过精心组装而成的。它能在人们所期望的时间内将被抽容器内的压力降低到所要求的真空度。由于真空泵和真空测量仪器前面已经讲述,这里仅介绍真空阀门和捕集器。

一、真空阀门

1.概述

在真空系统中,用来改变气流方向,调节气流量大小,切断或接通管路的真空系统元件称为真空阀门。

真空阀门在真空系统中的作用是:

(1)开关气路 如图1所示,当阀1和阀4关闭,阀2打开时,机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空,气流流经预真空抽气管路;当阀2关闭,阀4打开时,机械泵可单独对扩散泵抽真空;当阀1和阀4同时打开时,扩散泵和机械泵可同时工作,对容器进行抽空,此时气流流经扩散泵。可见,阀门在这种操作中的作用是开关气路,改变气流的流经路线。

(2)控制气流大小,调节真空度在图1中,调节阀1的阀盖开启角度,即可调节流经管路的气流量大小;关闭阀2和阀4,通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气;通过放气阀5可以调节容器内的真空度。

(3)定量充气如图2所示,在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞,当小洞转向右边和高压气瓶连通时,小洞中就可充满高压气体;当它转向左边和真空容器连通时,就把该体积的高压气体放进容器中去,这样就起到了定量充气的作用。

真空阀门的种类繁多,通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类,其分类见表1。

真空阀门的型号编制方法国家专业标准作了规定,可查阅有关标准。

表1 真空阀门分类

根据用途 根据通道方式

截止阀、隔离阀、放气阀、节流阀、换向阀、封闭送料阀 脚阀、直通阀、双通阀、三通阀、四通阀

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